[发明专利]一种光学检测装置和采用该装置的检测设备

权利要求书

1.一种光学检测装置，其特征在于：所述光学检测装置(4000)包括主检相机组件(4100)、复检相机组件(4200)、定位相机组件(4300)、线扫驱动组件(4400)、拖链组件(4500)和双腔箱架(4600)；

所述线扫驱动组件(4400)设置在双腔箱架(4600)的下腔中，所述拖链组件(4500)设置在双腔箱架(4600)的上腔中，所述主检相机组件(4100)、复检相机组件(4200)和定位相机组件(4300)在线扫驱动组件(4400)的驱动下横向移动；

其中，所述定位相机组件(4300)对待测件进行光学定位，所述主检相机组件(4100)对定位后的待测件进行线扫初检测，所述复检相机组件(4200)对初检测后的位点进行光学复检以最终确定瑕疵位置、瑕疵类型、及关键尺寸；

所述线扫驱动组件(4400)包括X轴横梁(4410)、直线电机定子(4420)、直线电机动子(4430)、X轴上轨(4440)、X轴侧轨(4450)、光学组件主转接板(4460)和光栅组件(4470)；

所述直线电机定子(4420)和X轴上轨(4440)平行的固定至所述X轴横梁(4410)上表面，所述X轴侧轨(4450)与光栅组件(4470)平行的固定至所述X轴横梁(4410)的前侧面上，且所述光栅组件(4470)设置在于X轴侧轨(4450)的上方；

所述光学组件主转接板(4460)为L型或T型转接板，光学组件主转接板的水平板底面通过上转接槽(4461)与X轴上轨(4440)滑动连接，在光学组件主转接板的水平板底面还通过直线电机动子(4430)与直线电机定子(4420)匹配连接，光学组件主转接板的竖直板后侧面并通过侧转接槽(4462)与X轴侧轨(4450)滑动连接，以此实现直线电机对光学组件主转接板(4460)的横向往复驱动；

所述光学检测装置(4000)包括两组主检相机组件(4100)，每组所述主检相机组件(4100)包括Z轴主转接板(4101)、Z轴主电机驱动件(4102)、Z轴主滑套组件(4103)、Z轴中间转接板(4104)、Z轴副转接板(4105)、主检相机安装横板(4106)、主检镜头安装横板(4107)、Z轴副电机驱动件(4108)、Z轴副滑套组件(4109)、主检相机(4110)、主检镜头、主检弹性套筒(4112)、主检光源(4113)和主检光源控制器(4114)；其中，Z轴主转接板(4101)与所述光学组件主转接板(4460)的前侧面固定连接，所述Z轴主电机驱动件(4102)设置在所述Z轴主转接板(4101)与所述Z轴主滑套组件(4103)之间，所述Z轴主滑套组件(4103)的前侧面固定至L型的Z轴中间转接板(4104)的后侧面上，所述Z轴中间转接板(4104)的一个侧面上固定连接所述Z轴副转接板(4105)，主检相机(4110)通过所述主检相机安装横板(4106)、Z轴副滑套组件(4109)与所述Z轴副转接板(4105)的相机安装侧上部连接，所述主检镜头通过主检镜头安装横板(4107)与所述Z轴副转接板(4105)的相机安装侧下部连接，所述主检弹性套筒(4112)设置在所述主检相机(4110)与主检镜头之间，所述主检光源(4113)通过主检光源转接板(4115)与所述主检镜头安装横板(4107)的侧面，所述主检光源控制器(4114)设置在所述双腔箱架(4600)的下腔中并与所述主检光源(4113)光讯连接；其中，通过Z轴副电机驱动件(4108)调节所述主检相机(4110)与主检镜头的距离，通过Z轴主电机驱动件(4102)调整主检相机组件(4100)的主检镜头与待测件的距离。

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于：所述光栅组件(4470)上方设置光栅防护钣金(4480)，在所述X轴侧轨(4450)下方设置侧轨油槽(4490)。

3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于：所述拖链组件(4500)包括拖链体(4510)和拖链转接架(4520)，所述拖链转接架(4520)的一端与拖链体(4510)连接，所述拖链转接架(4520)的另一端与所述光学组件主转接板(4460)连接。

4.根据权利要求3所述的光学检测装置，其特征在于：所述主检弹性套筒(4112)为非透明的弹性波纹管。