[发明专利]一种光学检测装置和采用该装置的检测设备

说明书

本发明公开了一种光学检测装置和采用该装置的检测设备，装置包括主检相机组件、复检相机组件、定位相机组件、线扫驱动组件、拖链组件和双腔箱架；检测设备包括减震台架、平台模组、和光学检测装置，其中所述平台模组和光学检测装置设置在所述减震台架上。通过主检相机组件、复检相机组件、定位相机组件实现对不同规格待测件的定位、初检和复检，采用两组主检相机组件替换现有的多组线排相机组，降低了成本，初检后进行复检提高了检测精度和检测效率，通过定位相机实现对不同规格待测件的进料定位和缺陷位置定位等，提高了整机的功能集成度和检测效率，降低了整机成本和故障率。

技术领域

本发明涉及检测设备及其零部件技术，尤其涉及一种光学检测装置和采用该装置的检测设备。

背景技术

对于computer-计算机、通信-communication、消费类电子产品-consumerelectronics等3C产品的主板（如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷电路板，FPD、flat panel display-平板显示器）检测设备中，必不可少的用到对待测件的视觉或影像检测机构，这类机构通常与移载装置联合使用，以对待测件进行缺陷检测和/或尺寸的测量。

然而，随着检测设备越来越高的精度和多功能集成的要求，检测设备对视觉或影像检测机构的功能要求越来越多。如现有技术中，面对大面积待测件，如FPD板等的检测，目前的方案是采用线排多个CCD相机的方式，这显然造成了成本的大幅增加；另一方案为采用单个相机加拖链实现往复运动进行图像扫描检测，这种方式对往复运动的速率要求太高；上述方案单一，对精密检测的高精度要求无法满足，且对于拖链往复运动的模式，待测件无法确保定位高精度，也造成检测精度的降低。

因此，亟需一种适应大幅面待测件基板的低成本多功能的光学检测装置。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种光学检测装置和采用该装置的检测设备，其能解决上述问题。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

一种光学检测装置，包括主检相机组件、复检相机组件、定位相机组件、线扫驱动组件、拖链组件和双腔箱架；所述线扫驱动组件设置在双腔箱架的下腔中，所述拖链组件设置在双腔箱架的上腔中，所述主检相机组件、复检相机组件和定位相机组件在线扫驱动组件的驱动下横向移动；其中，所述定位相机组件对待测件进行光学定位，所述主检相机组件对定位后的待测件进行线扫初检测，所述复检相机组件对初检测后的位点进行光学复检以最终确定瑕疵位置、瑕疵类型、及关键尺寸。

优选的，所述线扫驱动组件包括X轴横梁、直线电机定子、直线电机动子、X轴上轨、X轴侧轨、光学组件主转接板和光栅组件。

所述直线电机定子和X轴上轨平行的固定至所述X轴横梁上表面，所述X轴侧轨与光栅组件平行的固定至所述X轴横梁的前侧面上，且所述光栅组件设置在于X轴侧轨的上方。

所述光学组件主转接板为L型或T型转接板，转接板的水平板底面通过上转接槽与X轴上轨滑动连接，在转接板的水平板底面还通过直线电机动子与直线电机定子匹配连接，转接板的竖直板后侧面并通过侧转接槽与X轴侧轨滑动连接，以此实现直线电机对光学组件主转接板的横向往复驱动。

优选的，临近所述光栅组件上方设置光栅防护钣金，在所述X轴侧轨下方临近的设置侧轨油槽。

优选的，所述拖链组件包括拖链体和拖链转接架，所述拖链转接架的一端与拖链体连接，所述转接架的另一端与所述光学组件主转接板连接。