[发明专利]一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件

权利要求书

1.一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，包括同心校正机构(1)，其特征在于：所述同心校正机构(1)内部的中端转动连接有同心转动轴(2)，同心转动轴(2)的外侧设有内压固定轮(3)，内压固定轮(3)的顶端转动连接有内伸柱(4)，内伸柱(4)的顶端固定连接有半弧板(5)，半弧板(5)顶端的中部活动连接有顶伸柱(6)，顶伸柱(6)的外侧弹性连接有伸柱弹簧(7)，伸柱弹簧(7)的顶端活动连接有顶滑仓(8)，顶滑仓(8)内部的顶端活动连接有滑动活塞(9)，滑动活塞(9)的顶端活动连接有缓冲液(10)，缓冲液(10)的顶端活动连接有圆头活塞(11)，圆头活塞(11)的外侧活动连接有顶台板(12)，圆头活塞(11)的顶端活动连接有顶位柱(13)，顶位柱(13)的背面活动连接有背夹杆(14)，顶位柱(13)的顶端活动连接有斜塞伸缩柱(15)，斜塞伸缩柱(15)的顶端活动连接有伸缩台(16)，伸缩台(16)的顶端活动连接有扩撑杆(17)，扩撑杆(17)的顶端活动连接有底外柱(18)。

2.根据权利要求1所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述扩撑杆(17)底部的表面活动连接有中套柱(19)，中套柱(19)的顶端设有顶套筒(20)。

3.根据权利要求2所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述顶套筒(20)的外侧活动连接有摆动连杆机构(21)，摆动连杆机构(21)的背面活动连接有圆周摆动仓(22)。

4.根据权利要求1所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述扩撑杆(17)的顶端活动连接有液压校正环(23)，液压校正环(23)内部的底端活动连接有浮动凸球(24)。

5.根据权利要求4所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述浮动凸球(24)的底端活动连接有浮动杆(25)，浮动杆(25)的外侧活动连接有中弹杆(26)。

6.根据权利要求5所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述中弹杆(26)的外侧活动连接有外安装板(27)，外安装板(27)的内侧活动连接有往复弹杆(28)。

7.根据权利要求6所述的一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，其特征在于：所述往复弹杆(28)的内侧活动连接有滚动球仓(29)，滚动球仓(29)的底部活动连接有剥离仓(30)。