[发明专利]一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件

说明书

本发明涉及通讯芯片光刻技术领域，且公开了一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，包括同心校正机构，所述同心校正机构内部的中端转动连接有同心转动轴，同心转动轴的外侧设有内压固定轮。该新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，通过液压校正环内部液压油的偏向运动，进而使光束校正器偏向一侧内部的液压油向同侧的扩撑杆进行施压，从而使扩撑杆向内侧运动，使扩撑杆下压伸缩台和顶位柱，进而使顶位柱推动圆头活塞和滑动活塞接触，从而使滑动活塞向内部偏移，进而带动顶伸柱和半弧板向偏转的光束校正器运动，从而使光束校正器的偏转被校正，进而减少光束夹角，从而提高光刻的精度。

技术领域

本发明涉及通讯芯片光刻技术领域，具体为一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件。

背景技术

在当今社会通讯芯片的发展进程中，越来越多的通讯芯片出现在人们的生活以及工作当中，因此为了满足通讯芯片日益高涨的发展需求，芯片光刻机应运而生，光刻机主要利用紫外光源，紫外光源的波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，进而使光刻的精度被提高。

公开号为CN111562726A，公开日为2020年8月21日的中国发明专利公布一种半导体芯片生产用接触式光刻机，其结构包括处理端、显示屏、射光筒、底座、操作台，处理端与底座相焊接，显示屏与处理端铰链连接，射光筒嵌固于处理端的底部位置，操作台与底座一体化结构，通过开合板上的位固块能够在助推条的配合下，贴合掩模板的边缘，从而能在掩模板取出时，通过助推条的推动，将半导体芯片上光刻胶抹平，有效的避免了掩模板再次放在此区域会出现倾斜的情况，当分离板向上收缩时，通过板面的内壁对分离板上的收缩块产生的推力，能够使收缩块向内进行收缩，并且收缩块在收缩的过程中，能够推动摆动板向内进行摆动，故而使分离板侧面黏附的光刻胶不会直接与板面的内壁相接触，但是该发明并未对光束校正的安装位置进行多角度校正，进而使光束校正器的激光光束和光刻芯片夹角过大，从而导致光刻芯片的光刻精度下降，进而不利于芯片的生产。

针对上述问题，本发明提出一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，具有校正能力强和光束夹角小的优点。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，具备校正能力强和光束夹角小的优点，解决了校正能力弱和光束夹角大的问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，包括同心校正机构，所述同心校正机构内部的中端转动连接有同心转动轴，同心转动轴的外侧设有内压固定轮，内压固定轮的顶端转动连接有内伸柱，内伸柱的顶端固定连接有半弧板，半弧板顶端的中部活动连接有顶伸柱，顶伸柱的外侧弹性连接有伸柱弹簧，伸柱弹簧的顶端活动连接有顶滑仓，顶滑仓内部的顶端活动连接有滑动活塞，滑动活塞的顶端活动连接有缓冲液，缓冲液的顶端活动连接有圆头活塞，圆头活塞的外侧活动连接有顶台板，圆头活塞的顶端活动连接有顶位柱，顶位柱的背面活动连接有背夹杆，顶位柱的顶端活动连接有斜塞伸缩柱，斜塞伸缩柱的顶端活动连接有伸缩台，伸缩台的顶端活动连接有扩撑杆，扩撑杆的顶端活动连接有底外柱。

作为优选的，所述扩撑杆底部的表面活动连接有中套柱，中套柱的顶端设有顶套筒。

作为优选的，所述顶套筒的外侧活动连接有摆动连杆机构，摆动连杆机构的背面活动连接有圆周摆动仓，圆周摆动仓的外侧设有外圆弧杆。

作为优选的，所述扩撑杆的顶端活动连接有液压校正环，液压校正环内部的底端活动连接有浮动凸球。

作为优选的，所述浮动凸球的底端活动连接有浮动杆，浮动杆的外侧活动连接有中弹杆，中弹杆对称分布在浮动杆的左右两侧。

作为优选的，所述中弹杆的外侧活动连接有外安装板，外安装板的内侧活动连接有往复弹杆。