[发明专利]一种外延设备的气体供应方法及装置

权利要求书

1.一种外延设备的气体供应装置，其特征在于，

包括支撑组件、第一加热组件、第二加热组件和输出组件，所述支撑组件包括壳体、底座和控制盒，所述壳体具有进气口、排气口、反应腔，第一安装槽和第二安装槽，所述进气口和所述排气口位于所述反应腔的两侧，所述第一安装槽和所述第二安装槽位于所述反应腔的两侧，所述底座与所述壳体固定连接，并位于所述壳体的一侧，所述控制盒与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，所述第一加热组件包括第一支撑板、多个第一安装板和多个第一加热电阻，多个所述第一安装板与所述壳体滑动连接，并位于所述第一安装槽内，所述第一支撑板与多个所述第一安装板固定连接，并位于所述第一安装板的一侧，多个所述第一加热电阻分别与多个所述第一安装板固定连接，并位于所述第一安装板内，所述第二加热组件包括第二支撑板、多个第二安装板和多个第二加热电阻，多个所述第二安装板与所述壳体滑动连接，并位于所述第二安装槽内，且与所述第一安装板交叉设置，所述第二支撑板与多个所述第二安装板固定连接，并位于所述第二安装板的一侧，多个所述第二加热电阻分别与多个所述第二安装板固定连接，并位于所述第二安装板内，所述输出组件与所述壳体连通，并位于所述排气口一侧，所述输出组件包括连接管、叶片、刮片和转杆，所述转杆与所述连接管转动连接，并位于所述连接管内，所述叶片与所述转杆固定连接，并位于所述转杆的一侧，所述刮片与所述叶片固定连接，接触所述连接管，所述输出组件还包括电机和联轴器，所述联轴器包括联轴壳、主动盘、被动盘、三角杆、第一弹簧和第二弹簧，所述联轴壳与所述转杆固定连接，并位于所述转杆的一侧，所述被动盘与所述转杆滑动连接，并位于所述联轴壳内，所述第一弹簧与所述被动盘固定连接，并位于所述被动盘与所述转杆之间，所述主动盘具有卡槽，所述主动盘与所述电机的输出轴滑动连接，并与所述联轴壳转动连接，所述三角杆与所述联轴壳转动连接，并位于所述被动盘和所述主动盘之间。

2.如权利要求1所述的一种外延设备的气体供应装置，其特征在于，

所述支撑组件还包括隔热层，所述隔热层与所述壳体固定连接，并位于所述壳体的两侧。

3.如权利要求2所述的一种外延设备的气体供应装置，其特征在于，

所述支撑组件还包括温度传感器，所述温度传感器与所述壳体固定连接，并位于所述壳体靠近所述排气口处，且与所述控制盒电连接。

4.如权利要求1所述的一种外延设备的气体供应装置，其特征在于，

第一加热组件还包括多个第一延长片，多个所述第一延长片分别与多个所述第一安装板固定连接，并位于所述第一安装板的一侧，第二加热组件还包括多个第二延长片，多个所述第二延长片分别与多个所述第二安装板固定连接，并位于所述第二安装板的二侧。

5.如权利要求1所述的一种外延设备的气体供应装置，其特征在于，

所述输出组件还包括光电传感器，所述光电传感器与所述连接管固定连接，并位于所述连接管靠近所述联轴器的一侧。

6.一种外延设备的气体供应方法，采用如权利要求1所述的外延设备的气体供应装置，其特征在于，

包括：启动第一加热电阻和第二加热电阻；

向进气口通入反应气体；

通过第一安装板和第二安装板对反应气体进行加热；

通过输出组件输出加热完成的反应气体。