[发明专利]太阳能电池制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：

提供衬底；

对所述衬底进行制绒并进行第一次清洗，形成制绒片；

对所述制绒片进行划片，形成划片槽；

对经过划片后的所述制绒片进行第二次清洗，去除划片时产生的熔渣；

在经过划片以及第二次清洗后的所述制绒片上形成电池膜层，从而形成电池片；

沿所述划片槽对所述电池片进行裂片，形成多片所述太阳能电池；

在划片前进行所述第一次清洗，所述第一次清洗包括形成疏水洁净表面，在划片后进行所述第二次清洗；

设置位于中间区域的划片槽的深度大于位于边缘区域的划片槽的深度。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，对经过划片后的所述制绒片进行第二次清洗，去除划片时产生的熔渣的同时，还去除划片时产生的微裂纹。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述衬底为硅片，所述第二次清洗的清洗液包括CP溶液。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述清洗液还包括SC1溶液、SC2溶液以及DHF溶液。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述对经过划片后的所述制绒片进行第二次清洗，包括：

将经过划片后的所述制绒片依次放入所述SC1溶液、SC2溶液、CP溶液以及DHF溶液中进行清洗。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述划片槽的深度小于等于所述衬底厚度的90％。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述划片槽的深度小于等于所述衬底厚度的50％。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，各所述划片槽的深度由中间向两边逐渐降低。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述在经过划片以及第二次清洗后的所述制绒片上形成电池膜层，从而形成电池片，包括：

在经过划片、清洗后的所述制绒片上形成非晶硅膜层，所述非晶硅膜层与所述制绒片形成异质结；

在所述非晶硅膜层上形成透明导电膜层；

在所述透明导电膜层上形成电极层。