[发明专利]太阳能电池的制备方法、制备装置及太阳能电池

权利要求书

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

提供轻掺杂的硅片，所述轻掺杂的硅片包括多个待激光重掺杂的第一预设区域；

获取所述轻掺杂的硅片的方阻值分布；

根据所述方阻值分布确定所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，所述根据所述方阻值分布确定所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，包括：根据所述方阻值分布中各子区域的方阻值确定各子区域对应的激光重掺杂功率；根据所述各子区域对应的激光重掺杂功率，获取所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，所述子区域为待重掺杂区域；

根据所述激光重掺杂功率对所述多个第一预设区域进行激光重掺杂，以使激光后的任意两个所述第一预设区域的方阻值的差满足预设范围，所述激光后的任意两个所述第一预设区域的方阻值的差为X，其中，-5Ω≤X≤5Ω。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述获取所述轻掺杂的硅片的方阻值分布，包括：

通过方阻测试仪测量所述轻掺杂的硅片上的多个第二预设区域的方阻值；

根据所述多个第二预设区域的方阻值，通过插值的方式确定所述多个第二预设区域以外的其他区域的方阻值。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述根据所述各子区域对应的激光重掺杂功率，获取所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，包括：

建立坐标系以获取所述方阻值分布中各子区域的位置坐标；

建立不同子区域的位置坐标与激光重掺杂功率的对应关系；

提供所述多个第一预设区域的矢量图；

根据所述矢量图和所述对应关系，确定所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述根据所述方阻值分布确定所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，包括：

根据所述方阻值分布获取所述多个第一预设区域和所述多个第一预设区域以外的其他区域的灰度值；

根据所述多个第一预设区域的灰度值确定所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述根据所述方阻值分布获取所述多个第一预设区域的灰度值，包括：

根据所述方阻值分布，获取所述多个第一预设区域中各子区域的方阻值；

根据所述多个第一预设区域中各子区域的方阻值，确定所述多个第一预设区域中各子区域的灰度值。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述提供轻掺杂的硅片，包括：

提供硅片；

在所述硅片表面进行制绒，并清洗所述硅片；

对所述清洗后的硅片进行管式扩散，得到所述轻掺杂的硅片。

7.一种太阳能电池的制备装置，其特征在于，包括：

激光器；

振镜系统，与所述激光器连接，用于将所述激光器发出的激光定位至轻掺杂的硅片上的多个第一预设区域，以对所述多个第一预设区域进行激光重掺杂；

其中，所述振镜系统包括振镜控制卡，所述振镜控制卡与所述激光器连接，且所述振镜控制卡中预存有所述轻掺杂的硅片的方阻值分布数据，所述振镜控制卡根据所述方阻值分布数据控制所述激光器的功率，使激光后的任意两个所述第一预设区域的方阻值的差满足预设范围，所述激光后的任意两个所述第一预设区域的方阻值的差为X，其中，-5Ω≤X≤5Ω；所述根据所述方阻值分布控制所述激光器的功率，包括：根据所述方阻值分布中各子区域的方阻值确定各子区域对应的激光重掺杂功率；根据所述各子区域对应的激光重掺杂功率，获取所述多个第一预设区域的激光重掺杂功率，所述子区域为待重掺杂区域。

8.一种太阳能电池，其特征在于，根据权利要求1-6任一项所述的太阳能电池的制备方法制备得到。