[发明专利]堆叠的集成电路装置在审
申请号: | 202110239488.3 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN113764375A | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 都桢湖;李昇映 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/50 | 分类号: | H01L23/50;H01L27/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅;张川绪 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 堆叠 集成电路 装置 | ||
1.一种集成电路装置,所述集成电路装置包括:多个标准单元,以多个均在第一方向上延伸的行布置在基底上,其中,所述多个标准单元包括第一行中的第一标准单元和与第一行紧邻的第二行中的第二标准单元,
其中,所述多个标准单元中的每个包括:
上晶体管,包括:上有源区;上栅极结构,位于上有源区上;以及上源/漏区,位于上有源区上;
下晶体管,位于基底与上晶体管之间,下晶体管包括:下有源区;下栅极结构,位于下有源区上;以及下源/漏区,位于下有源区上;
电源线;以及
电源过孔,将电源线电连接到下源/漏区,
其中,第一标准单元的电源过孔和第二标准单元的电源过孔沿着第一方向彼此对齐。
2.根据权利要求1所述的集成电路装置,其中,第一标准单元的电源过孔和第二标准单元的电源过孔沿着第一行与第二行之间的界面彼此对齐。
3.根据权利要求1所述的集成电路装置,其中,第一标准单元的电源线包括共用电源线的第一部分,并且第二标准单元的电源线包括所述共用电源线的第二部分,并且
其中,所述共用电源线沿着第一行与第二行之间的界面延伸。
4.根据权利要求3所述的集成电路装置,其中,第一标准单元的电源过孔接触所述共用电源线并从所述共用电源线向上突出,并且第二标准单元的电源过孔接触所述共用电源线并从所述共用电源线向上突出。
5.根据权利要求4所述的集成电路装置,其中,第一标准单元的电源过孔接触所述共用电源线的在垂直于第一方向的第二方向上的中心,并且第二标准单元的电源过孔接触所述共用电源线的在第二方向上的所述中心。
6.根据权利要求1所述的集成电路装置,其中,上源/漏区包括第一上源/漏区,并且下源/漏区包括第一下源/漏区,
其中,所述多个标准单元中的每个还包括:
第二上源/漏区,位于上有源区上;
第二下源/漏区,位于下有源区上;以及
输出过孔,将第二下源/漏区电连接到第二上源/漏区,
其中,第一标准单元的输出过孔和第一标准单元的电源过孔沿着第一方向彼此对齐。
7.根据权利要求1所述的集成电路装置,其中,第一标准单元的电源线包括共用电源线的第一部分,并且第二标准单元的电源线包括所述共用电源线的第二部分,
其中,所述多个标准单元还包括第二行中的第三标准单元,并且
其中,第一标准单元的电源过孔将所述共用电源线电连接到第三标准单元的下源/漏区。
8.根据权利要求1所述的集成电路装置,其中,上源/漏区包括第一上源/漏区,并且下源/漏区包括第一下源/漏区,
所述多个标准单元中的每个还包括:
第二上源/漏区,位于上有源区上;
第二下源/漏区,位于下有源区上;以及
输出过孔,将第二下源/漏区电连接到第二上源/漏区,
第一标准单元的输出过孔与第一行和第二行之间的界面叠置。
9.根据权利要求8所述的集成电路装置,其中,第二标准单元的第一单元边界包括第一行与第二行之间的界面,并且
第二标准单元的输出过孔与第二标准单元的与第一单元边界相对的第二单元边界叠置。
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