[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板在审
申请号: | 202110240211.2 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN112951852A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 宋继越;龚帆;艾飞 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
本发明提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,所述阵列基板包括驱动薄膜晶体管与感光薄膜晶体管:所述驱动薄膜晶体管包括第一有源岛,第一栅极以及第一源漏极;所述感光薄膜晶体管包括第二有源岛,第二栅极以及第二源漏极;其中,所述第一栅极与所述第二栅极同层设置,及/或所述第一源漏极与所述第二源漏极同层设置。在该阵列基板中,所述驱动薄膜晶体管用于常规的驱动显示,所述感光薄膜晶体管用于对环境光强度进行检测,即,将传统的外挂感光装置集成于阵列基板内部,同时又将驱动薄膜晶体管与感光薄膜晶体管中的栅极与源漏极的至少一者同层设置,使得该阵列基板的制备流程简单,成本低廉,利于实现大规模量产。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。
背景技术
随着面板产业的迅猛发展,人们除了对有显示器高分辨、宽视角、低功耗等常规需求以外,也对显示面板提出了其它各式各样的需求。丰富面板功能,增加人机互动,提高显示面板的竞争力,是目前显示面板的主要发展方向之一。
其中,环境光检测功能可以根据外部环境的亮度自动调节屏幕亮度,也可以根据外界的环境,在拍照时自动打开闪光灯或者进行补光。目前,环境光感应装置基本都采用外挂方式,这样无法避免地增加了制作的成本。
发明内容
本发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板,可以通过简单的工艺将环境光感应装置集成于显示面板内部。
为解决上述问题,第一方面,本发明提供了一种阵列基板,所述阵列基板包括驱动薄膜晶体管与感光薄膜晶体管:
所述驱动薄膜晶体管包括第一有源岛,第一栅极以及第一源漏极;
所述感光薄膜晶体管包括第二有源岛,第二栅极以及第二源漏极;
其中,所述第一栅极与所述第二栅极同层设置,及/或所述第一源漏极与所述第二源漏极同层设置。
进一步地,所述第二有源岛的材料包括非晶硅。
进一步地,所述第二有源岛包括非晶硅岛,以及设置在所述非晶硅岛上两端的第一N型非晶硅部与第二N型非晶硅部。
进一步地,所述阵列基板包括:
基板;
第一有源岛,设置于所述基板上;
第一绝缘层,设置于所述第一有源岛上;
第一金属层,设置于所述第一绝缘层上,包括所述第一栅极与所述第二栅极;
第二绝缘层,设置于所述第一金属层上;
第二有源岛,设置于所述第二绝缘层上;
第二金属层,设置于所述第二绝缘层与所述第二有源岛上,包括所述第一源漏极与所述第二源漏极,所述第一源漏极通过贯穿于所述第一绝缘层与所述第二绝缘层的第一接触孔连接于第一有源岛,所述第二源漏极连接于所述第二有源岛中的所述第一N型非晶硅部与第二N型非晶硅部。
进一步地,所述阵列基板包括:
基板;
第一有源岛,设置于所述基板上;
第一绝缘层,设置于所述第一有源岛上;
第一金属层,设置于所述第一绝缘层上,包括所述第一栅极;
第二绝缘层,设置于所述第一金属层上;
第三金属层,设置于所述第二绝缘层上,包括所述第二栅极;
第三绝缘层,设置于所述第三金属层上;
第二有源岛,设置于所述第三绝缘层上;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的