[发明专利]图像感测装置

权利要求书

1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

基板；

多个单位图像感测像素，所述多个单位图像感测像素由所述基板支撑，并且被构造为响应于入射光以生成与所述入射光相对应的电信号；以及

一个或更多个器件隔离区域，所述一个或更多个器件隔离区域由所述基板支撑，并布置在相邻的单位图像感测像素之间，以将所述多个单位图像感测像素彼此隔离，

其中，所述器件隔离区域包括：

第一导电层；

第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层间隔开；以及

第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述第一导电层和所述第二导电层之间。

2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述器件隔离区域包括多层结构，所述多层结构由所述基板支撑，并且包括垂直延伸的所述第一导电层、所述第一绝缘层和所述第二导电层，并且

其中，所述器件隔离区域的所述多层结构还包括第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述第一导电层和所述相邻的单位图像感测像素之间。

3.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，相邻的器件隔离区域的所述第一导电层彼此隔离，并且每个第一导电层与所述多个单位图像感测像素中的一个相对应。

4.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述器件隔离区域包括垂直多层结构，所述垂直多层结构包括垂直延伸的所述第一导电层、所述第一绝缘层和所述第二导电层，并且所述垂直多层结构的所述第一导电层沿着相应单位图像感测像素的至少一个横向表面布置。

5.根据权利要求4所述的图像感测装置，其中：

所述多个单位图像感测像素中的每一个包括邻接所述器件隔离区域的至少四个横向表面；并且

所述多个单位图像感测像素中的每一个的所述第一导电层被布置为与相应单位图像感测像素的两个横向表面相邻。

6.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述器件隔离区域包括水平多层结构，所述水平多层结构包括水平延伸的所述第一导电层、所述第一绝缘层和所述第二导电层，并且

其中，第一器件隔离区域的第一水平多层结构与相邻于所述第一器件隔离区域的第二器件隔离区域的第二水平多层结构通过在所述第一水平多层结构与所述第二水平多层结构之间形成的凹入区域而间隔开。

7.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括第一接触部，所述第一接触部联接到所述第一导电层，

其中，所述第一接触部的至少一部分形成在所述器件隔离区域中。

8.根据权利要求7所述的图像感测装置，其中，所述第一接触部联接到被配置为施加高于接地电压的电压的双转换增益DCG电压节点。

9.根据权利要求7所述的图像感测装置，其中，所述第二导电层被形成为围绕所述多个单位图像感测像素中的每一个的格子形状，并且包括在形成有所述第一接触部的区域处彼此间隔开的多个部分。

10.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括第二接触部，所述第二接触部联接到所述第二导电层。

11.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

多个单位图像感测像素组，所述多个单位图像感测像素组在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向上连续布置；以及

一个或更多个器件隔离区域，所述一个或更多个器件隔离区域布置在相邻的单位图像感测像素组之间，以将所述多个单位图像感测像素组彼此隔离，

其中，所述多个单位图像感测像素组中的每一个包括：

多个单位图像感测像素，所述多个单位图像感测像素被构造为响应于入射光以生成与所述入射光相对应的电信号，

其中，所述器件隔离区域包括：

第一导电层；

第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层间隔开；以及

第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述第一导电层和所述第二导电层之间。