[发明专利]图像感测装置

说明书

一种图像感测装置包括：基板；多个单位图像感测像素，所述多个单位图像感测像素由基板支撑，并且被构造为响应于入射光以生成与入射光相对应的电信号；以及一个或更多个器件隔离区域，所述一个或更多个器件隔离区域由基板支撑，并且布置在相邻单位图像感测像素之间，以将多个单位图像感测像素彼此隔离。器件隔离区域可以包括第一导电层，与第一导电层间隔开的第二导电层以及设置在第一导电层和第二导电层之间的第一绝缘层。

技术领域

本专利文件中公开的技术和实施方式总体上涉及图像感测装置。

背景技术

图像感测装置用于电子装置中以将光学图像转换成电信号。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的最新发展，在诸如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(PCS)、视频游戏机、监控相机、医疗微型相机、机器人等的各种电子装置中，对高度集成的高性能图像传感器的需求迅速增长。

发明内容

所公开技术的各种实施方式涉及用于增大浮置扩散区域的电容并且对像素区域的影响更小的图像感测装置。

根据所公开技术的一个实施方式，图像感测装置可以包括：基板；多个单位图像感测像素，所述多个单位图像感测像素由基板支撑，并且被构造为响应于入射光以生成与入射光相对应的电信号；以及一个或更多个器件隔离区域，所述一个或更多个器件隔离区域由基板支撑，并且布置在相邻的单位图像感测像素之间，以将所述多个单位图像感测像素彼此隔离。器件隔离区域可以包括第一导电层，与第一导电层间隔开的第二导电层以及设置在第一导电层和第二导电层之间的第一绝缘层。

根据所公开技术的另一实施方式，图像感测装置可以包括：多个单位图像感测像素组，所述多个单位图像感测像素组在第一方向和垂直于第一方向的第二方向上连续布置；以及一个或更多个器件隔离区域，所述一个或更多个器件隔离区域布置在相邻单位图像感测像素组之间，以将所述多个单位图像感测像素组彼此隔离。每一个单位图像感测像素组可以包括被构造为响应于入射光以生成与入射光相对应的电信号的多个单位图像感测像素。器件隔离区域可以包括第一导电层，与第一导电层间隔开的第二导电层以及设置在第一导电层和第二导电层之间的第一绝缘层。

应当理解，所公开技术的前述一般描述和以下详细描述都是说明性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步解释。

附图说明

图1是示出基于所公开技术的一些实施方式的图像感测装置的示例布局的框图。

图2是示出基于所公开技术的一些实施方式的双转换增益(DCG)电容器的平面布置的示例的平面图。

图3A是示出基于所公开技术的一些实施方式的沿图2所示的线A-A’截取的图像感测装置的示例的截面图。

图3B是示出基于所公开技术的一些实施方式的沿图2所示的线B-B’截取的图像感测装置的示例的截面图。

图4A是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3A所示的结构的截面图，并且图4B是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3B所示的结构的截面图。

图5A是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3A所示的结构的另一截面图，并且图5B是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3B所示的结构的另一截面图。

图6A是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3A所示的结构的另一截面图，并且图6B是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3B所示的结构的另一截面图。

图7A是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3A所示的结构的另一截面图，并且图7B是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3B所示的结构的另一截面图。

图8A是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3A所示的结构的另一截面图，并且图8B是示出基于所公开技术的一些实施方式形成图3B所示的结构的另一截面图。