[发明专利]一种高效ITO废靶回收再利用的方法

权利要求书

1.一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、清洗

用丙酮擦拭ITO废靶表面，然后用超声波清洗干净，干燥后备用；

S2、电弧气化

将清洗后的ITO废靶放入直流电弧气化反应室中，通入100-200V直流电压产生的电弧，以将ITO废靶熔化、气化；

S3、粉末回收

将气化后的ITO废靶骤冷，然后经分级收粉系统，得到ITO粉末。

2.根据权利要求1所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：在步骤S1中，通过60-70℃的纯净水对ITO废靶超声波清洗30-40min。

3.根据权利要求1所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：在步骤S1中，所述ITO废靶纯度为99.99％，In₂O₃/SnO₂的质量比为9∶1。

4.根据权利要求1所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：在步骤S3中，所述分级收粉系统包括依次管道连接的沉降器、风机、旋风收粉器和布袋收粉器。

5.根据权利要求4所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：所述布袋收粉器包括支腿(1)、固定块(2)、支撑杆(3)、筒体、出粉管(5)、排灰机构、滤袋、底筒(9)和进气管(13)；

所述筒体包括固定筒体(41)及与所述固定筒体(41)上下滑动配合的活动筒体(42)，所述滤袋包括固定滤袋(81)和活动滤袋(82)，所述固定滤袋(81)固定在所述固定筒体(41)内，所述活动滤袋(82)可拆卸连接在所述活动滤袋(82)下端，以使所述活动滤袋(82)与所述固定滤袋(81)连通；

所述固定块(2)固定在所述固定筒体(41)外表面，所述支腿(1)上端固定在所述固定块(2)上，下端用于支撑在地面或基础平面上，所述支撑杆(3)固定在所述支腿(1)上且用于向上支撑所述底筒(9)，所述活动滤袋(82)下端套设在所述底筒(9)上且与所述底筒(9)可拆卸连接，所述底筒(9)下端设置有出粉管(5)；

所述进气管(13)穿过所述固定筒体(41)且延伸在所述固定滤袋(81)内，所述活动筒体(42)底部开设有圆孔(6)，所述圆孔(6)直径大于所述活动滤袋(82)外径，以使所述活动筒体(42)在所述活动滤袋(82)外部四周上下滑动；

所述排灰机构用于拍打所述固定滤袋(81)。

6.根据权利要求5所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：所述排灰机构包括电机(71)、转轴(72)和拍打棒(73)；

所述电机(71)安装在所述固定筒体(41)顶部上方，所述转轴(72)上端与所述电机(71)输出轴固定，下端穿过所述固定筒体(41)且延伸在所述固定滤袋(81)内，所述拍打棒(73)位于所述固定滤袋(81)内且一端固定在所述转轴(72)上，另一端与所述固定滤袋(81)内壁接触，所述转轴(72)轴向方向与所述固定滤袋(81)轴向方向相一致。

7.根据权利要求6所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：所述进气管(13)为倾斜设置且下端延伸在所述固定滤袋(81)内，所述进气管(13)出气端向外呈扩口设置，所述进气管(13)出气端位于所述拍打棒(73)下方。

8.根据权利要求5所述的一种高效ITO废靶回收再利用的方法，其特征在于：所述固定筒体(41)和所述活动筒体(42)均为圆筒状，所述活动筒体(42)外径与所述固定筒体(41)内径相同，所述固定筒体(41)内壁开设有用于所述活动筒体(42)在所述固定筒体(41)内上下滑动的滑槽(10)，所述活动筒体(42)上固定有与所述滑槽(10)相适配的滑块(11)，所述滑块(11)插在所述滑槽(10)内且与所述滑槽(10)滑动配合。