[发明专利]流体温度控制装置及光刻设备

权利要求书

1.一种流体温度控制装置，其特征在于，包括温水分流系统、冷水分流系统和控制阀(300)，其中，所述温水分流系统包括第一温水入口(110)以及均与所述第一温水入口(110)连通的第一温水出口(120)和第二温水出口(130)，所述冷水分流系统包括第一冷水入口(210)以及均与所述第一冷水入口(210)连通的第一冷水出口(220)和第二冷水出口(230)，所述第一温水出口(120)被配置为向光刻设备的第一组件通入温水，所述第一冷水出口(220)被配置为向光刻设备的第二组件通入冷水；所述控制阀(300)包括第二温水入口、第二冷水入口和与所述第二温水入口、所述第二冷水入口二者连通的第一混合水出口(310)，所述第二温水入口与所述第二温水出口(130)连通，所述第二冷水入口与所述第二冷水出口(230)连通，所述第一混合水出口(310)被配置为向光刻设备的第三组件通入温水与冷水的混合水。

2.根据权利要求1所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述控制阀(300)还包括第一阀芯和第二阀芯，所述第一阀芯设置在所述第二温水入口处，所述第一阀芯被配置为控制所述第二温水入口的通流面积，所述第二阀芯设置在所述第二冷水入口处，所述第二阀芯被配置为控制所述第二冷水入口的通流面积。

3.根据权利要求2所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述冷水分流系统包括第一分流块(200)，所述第一分流块(200)内设置有冷水流道和混合水流道，其中，所述冷水流道的入口形成所述第一冷水入口(210)，所述冷水流道的出口形成所述第一冷水出口(220)；所述混合水流道的入口通过连接管(400)与所述第一混合水出口(310)连通，所述第一分流块(200)还开设有与所述混合水流道连通的第二混合水出口(240)，所述第一混合水出口(310)通过所述连接管(400)、所述第二混合水出口(240)向所述第三组件通入混合水。

4.根据权利要求3所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述第一混合水出口(310)处设置有直角接头(500)，所述连接管(400)通过所述直角接头(500)连接在所述第一混合水出口(310)处。

5.根据权利要求3所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述流体温度控制装置还包括第一温度传感器(600)，所述第一温度传感器(600)安装于所述第一分流块(200)，且所述第一温度传感器(600)的感测部伸入所述混合水流道。

6.根据权利要求3所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述流体温度控制装置还包括第二温度传感器(700)，所述第二温度传感器(700)安装于所述第一分流块(200)，且所述第二温度传感器(700)的感测部伸入所述冷水流道。

7.根据权利要求1-6任一项所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述温水分流系统包括第二分流块(100)，所述第二分流块(100)内设置有温水流道和与所述温水流道连通的分支流道，所述温水流道的入口形成所述第一温水入口(110)，所述温水流道的出口形成所述第一温水出口(120)，所述分支流道的出口与所述第二温水入口连通。

8.根据权利要求1-6任一项所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述流体温度控制装置还包括回水分流系统(800)，所述回水分流系统(800)包括回水入口(810)和与所述回水入口(810)连通的回水出口(820)，所述回水入口(810)被配置为使经过换热的冷却水回流至所述回水分流系统(800)，所述回水出口(820)用于与冷水机连接，所述回水出口(820)被配置为使经过换热的冷却水进入所述冷水机，再循环进入所述第一温水入口(110)或第一冷水入口(210)。

9.根据权利要求8所述的流体温度控制装置，其特征在于，所述回水出口(820)处设置有流量计(830)，所述流量计(830)被配置为检测所述回水出口(820)处的流体流量。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的流体温度控制装置。