[发明专利]一种管型靶材的生产方法

说明书

本发明涉及一种管型靶材的生产方法，其使用了一种粉料振实设备，该粉料振实设备包括底板、工作台、固定装置与振实装置，采用上述粉料振实设备生产管型靶材时的具体方法流程如下：粉料称量、粉料填充、压缩预成型、脱模、热处理与机械加工，振实装置包括支撑杆、顶板、驱动电机、驱动凸轮、横移块、升降块、压料环、内部振实架、固定柱与外部振实架。本发明通过置料装置对多个管型模具进行固定，再通过振实装置分别从模具上方、内部与外部进行振实作业，振实效率明显提高，并且能够在振实过程中带动管型模具转动，能够增大振实装置与管型模具的接触范围，提高振实效果。

技术领域

本发明涉及靶材生产技术领域，具体的说是一种管型靶材的生产方法。

背景技术

靶材是制备薄膜的主要材料之一，主要应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求高。

靶材按照形状的不同可分为管型靶材、圆柱形靶材与半圆形靶材等，在管型靶材的生产过程中，在将粉料倒入管型模具内后，需要对粉料进行振实，以保证粉料的填充紧密度，但是目前在振实过程中还存在一些问题：

（1）现有的振实平台或其他振实设备往往每次只能够对一个模具内的粉料进行振实，效率较低，且导致工作人员需要频繁地进行模具的装卸动作，增加了工作的繁琐程度；

（2）由于模具安装后位置固定，因此振实平台或其他振实设备对模具不同位置产生的振动幅度不同，导致模具内的粉料容易出现分布不均的情况。

为了解决上述问题，本发明提供了一种管型靶材的生产方法。

发明内容

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案来实现：

一种管型靶材的生产方法，其使用了一种粉料振实设备，该粉料振实设备包括底板、工作台、固定装置与振实装置，采用上述粉料振实设备生产管型靶材时的具体方法流程如下：

S1粉料称量：选用费氏粒度为2～5um的钼粉，按照实际需要称量备用；

S2粉料填充:将称量后的钼粉填入管型模具内，并通过粉料振实设备将其充分振实；

S3压缩预成型：采用封焊方式将经过抽真空处理的管型模具密封，再进行压缩预成型处理；

S4脱模:将管型模具拆下，制得管型靶材半成品；

S5热处理：将管型靶材半成品置于800℃的环境下，保温2h；

S6机械加工:对管型靶材半成品进行机械加工，保证其内外表面的平整度，制得管型靶材成品；

所述底板上端安装有工作台，工作台上端安装有固定装置，固定装置内侧布置有振实装置，振实装置安装在工作台上，工作台上沿其周向方向均匀开设有多个安装孔；

所述固定装置包括定位座、转动齿轮、主动齿轮与转动电机，安装孔内转动安装有定位座，定位座底端与转动齿轮上端相连接，转动齿轮内侧与主动齿轮外侧相啮合，主动齿轮下端与转动电机输出轴相连接，转动电机通过电机座安装在底板上；定位座能够对管型模具起到固定作用，提高管型模具在之后过程中的位置稳定性，启动转动电机后，在主动齿轮与转动齿轮之间的传动作用下，定位座能够进行转动，使得振实装置与管型模具的相对位置不断改变，进而达到扩大振实范围、提高振实效果的目的。

所述振实装置包括支撑杆、顶板、驱动电机、驱动凸轮、横移块、升降块、压料环、内部振实架、固定柱与外部振实架，支撑杆下端与底板相连接，支撑杆上端与顶板下端转动连接，顶板上开设有与定位座数量相同的圆孔，顶板中部通过电机座安装有驱动电机，驱动电机输出轴与驱动凸轮上端相连接；当需要对管型模具进行取放时，需要对顶板位置进行适当调节，使得圆孔位置与定位座位置一一对应，以便工作人员从圆孔上方进行管型模具的取放动作。