[发明专利]量子点光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 202110249911.8 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN113054054B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 赵金阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0352;H01L27/144 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
本申请实施例公开了一种量子点光电探测器及其制备方法,其中,所述方法包括:提供一具有图案化的电极基片;在所述电极基片上进行至少两次电泳沉积,得到具有至少两个相互差异的量子点结构。本申请实施例通过在电极基片上的进行至少两次电泳沉积,诸如在电极基片的不同位置采用溶液不同和/或施加电压不同,以得到多个相互差异的量子点结构,基于该量子点结构的量子点光电探测器可以提升其检测范围。
技术领域
本申请属于显示技术领域,尤其涉及一种量子点光电探测器及其制备方法。
背景技术
量子点(Quantum Dots,QD)是一种半导体纳米材料,其半径小于或接近于激子波尔半径。量子点具有大小可调的带隙、较长的载流子寿命和可溶液加工的特性,量子点是一种很有前景的功能材料,在发展低成本和高性能光电探测器方面具有很大的潜力。
在量子点光电探测器的制造中,有一种方法将两种发光颜色的量子点分别制成携带有相反电性配体的第一量子点组合物和第二量子点组合物,使得第一量子点组合物和第二量子点组合物通过电沉积图案化加工,形成特定形状的图案。该方法只能同时加工两种发光颜色的量子点,形成的量子点光电探测器的检测范围较单一。
发明内容
本申请实施例提供一种量子点光电探测器及其制备方法,可以提供具有更大检测范围的量子点光电探测器。
本申请实施例提供一种量子点光电探测器的制备方法,所述方法包括:
提供一具有图案化的电极基片;
在所述电极基片上进行至少两次电泳沉积,得到具有至少两个相互差异的量子点结构。
可选的,所述向所述电极极片进行至少两次以上电泳沉积包括:
将所述电极基片插入到第一种量子点溶液,向所述电极基片提供第一电压,使得所述第一种量子点溶液沉积到所述电极基片的第一预设位置,以在所述第一预设位置形成第一量子点结构;
将具有所述第一量子点结构的电极基片插入到第二种量子点溶液,向所述电极基片提供第二电压,使得所述第二种量子点溶液沉积到所述电极基片的第二预设位置,以在所述第二预设位置形成与所述第一量子点结构相互差异的第二量子点结构。
可选的,所述第一量子点溶液与所述第二量子点溶液不同,所述第一电压的电场强度和所述第二电压的电场强度相同,所述第一量子点结构的厚度和所述第二量子点结构的厚度相同,所述第一量子点结构的材料和所述第二量子点结构的材料不同。
可选的,所述第一量子点溶液与所述第二量子点溶液不同,所述第一电压的电场强度和所述第二电压的电场强度不相同,所述第一量子点结构的厚度和所述第二量子点结构的厚度不同,所述第一量子点结构的材料和所述第二量子点结构的材料不同。
可选的,所述第一量子点溶液与所述第二量子点溶液相同,所述第一电压的电场强度和所述第二电压的电场强度不相同,所述第一量子点结构的厚度和所述第二量子点结构的厚度不同,所述第一量子点结构的材料和所述第二量子点结构的材料相同。
可选的,所述第一种量子点溶液包含多个第一种带电量子点,所述第二种量子点溶液包含多个第二种带电量子点,所述第一种带点量子点的材料和所述第二种带点量子点的材料相同或者不同;和/或
所述第一种量子点溶液中多个第一种带点量子点的浓度和所述第二种量子点溶液中多个第二种带点量子点的浓度相同或不同。
可选的,所有量子点结构阵列排布形成量子点阵列层,在所述电极基片上进行至少两次电泳沉积之后,所述方法还包括:
在所述量子点阵列层的一侧沉积第一信号传输层;
在所述第一信号传输层远离所述量子点阵列层的一侧沉积第一电极层;
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