[发明专利]自动切换压力式摆臂有效
申请号: | 202110254994.X | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN112908906B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 胡新平 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 切换 压力 式摆臂 | ||
1.自动切换压力式摆臂,其特征在于,包括:
连接座(1);
摆臂本体(2),所述摆臂本体(2)的中部位置搭载于所述连接座(1)上;
吸嘴(7),安装于所述摆臂本体(2)的一端;
压力调节动力单元(3),安装于所述连接座(1)上并与所述摆臂本体(2)的另一端相连,用于驱动所述摆臂本体(2)绕所述连接座(1)摆动以调节所述吸嘴(7)的位置;
其中,所述摆臂本体(2)搭载于所述连接座(1)上的位置为摆动部(20),所述摆动部(20)与所述吸嘴(7)之间的距离大于所述摆动部(20)与所述压力调节动力单元(3)之间的距离;
所述压力调节动力单元(3)包括安装于所述连接座(1)上的气缸(31)和与所述气缸(31)之活塞杆(32)相连的连接块(33),所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端与所述连接块(33)相连,所述压力调节动力单元(3)用于驱动所述摆臂本体(2)绕所述摆动部(20)在所述连接座(1)上摆动。
2.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述自动切换压力式摆臂还包括连接所述连接座(1)与所述摆臂本体(2)的弹性件(4)。
3.如权利要求2所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述自动切换压力式摆臂还包括用于与所述连接座(1)配合以将所述弹性件(4)的一端夹持的第一压板(5)和用于与所述摆臂本体(2)配合以将所述弹性件(4)的另一端夹持的第二压板(6);所述第一压板(5)与所述连接座(1)相连,所述第二压板(6)与所述摆臂本体(2)相连。
4.如权利要求3所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述第一压板(5)与所述第二压板(6)间隔设置。
5.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述连接块(33)上安装有固定轴(34),所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端开设有供所述固定轴(34)穿过的通孔(220)。
6.如权利要求5所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述连接块(33)上开设有供所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端伸入的凹槽(331),所述固定轴(34)穿过所述凹槽(331)设置。
7.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述气缸(31)上分别安装有用于在所述吸嘴(7)取晶时施加压力的第一通气嘴(311)和用于在所述吸嘴(7)固晶时施加压力的第二通气嘴(312)。
8.如权利要求1-7任一项所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述自动切换压力式摆臂还包括安装于所述连接座(1)上的第一触控导电杆(8)和安装于所述摆臂本体(2)上的第二触控导电杆(9);所述第一触控导电杆(8)和所述第二触控导电杆(9)正对设置。
9.如权利要求1-7任一项所述的自动切换压力式摆臂,其特征在于:所述连接座(1)包括支撑所述摆臂本体(2)的底座(11)和支撑所述压力调节动力单元(3)的支撑座(12),所述支撑座(12)安装于所述底座(11)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造