[发明专利]自动切换压力式摆臂有效
申请号: | 202110254994.X | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN112908906B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 胡新平 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 切换 压力 式摆臂 | ||
本申请提供了一种自动切换压力式摆臂,包括连接座;摆臂本体,摆臂本体的中部位置搭载于连接座上;吸嘴,安装于摆臂本体的一端;压力调节动力单元,安装于连接座上并与摆臂本体的另一端相连,用于驱动摆臂本体绕连接座摆动以调节吸嘴的位置。摆臂本体搭载于连接座上的位置为摆动部,摆动部与吸嘴之间的距离大于摆动部与压力调节动力单元之间的距离。本申请通过将摆臂本体搭载于连接座上,摆臂本体与连接座之间构成杠杆结构。当压力调节动力单元驱动摆臂本体的中部位置绕连接座摆动时,位于摆臂本体一端的吸嘴的位置也随之发生变化。通过对吸嘴位置的调节,进而可调节吸嘴在取晶与固晶时对晶片的压力,实现对晶片的保护。
技术领域
本申请属于固晶技术领域,更具体地说,是涉及一种自动切换压力式摆臂。
背景技术
目前,固晶摆臂通常由摆臂及吸嘴组成,吸嘴用于取放晶片,以实现取晶与固晶作业;摆臂用于支撑吸嘴,并带动吸嘴在取晶位及固晶位之间往复移动。
吸嘴在取放晶片的过程中,由于固晶摆臂施加于吸嘴的压力无法调节,吸嘴在取晶与固晶时的压力大小一致,易造成晶片的损坏。
发明内容
本申请实施例的目的在于提供一种自动切换压力式摆臂,以解决相关技术中存在的:固晶摆臂施加于吸嘴的压力无法调节,吸嘴在取晶与固晶时的压力大小一致,易造成晶片损坏的问题。
为实现上述目的,本申请实施例采用的技术方案是:
提供一种自动切换压力式摆臂,包括:
连接座;
摆臂本体,所述摆臂本体的中部位置搭载于所述连接座上;
吸嘴,安装于所述摆臂本体的一端;
压力调节动力单元,安装于所述连接座上并与所述摆臂本体的另一端相连,用于驱动所述摆臂本体绕所述连接座摆动以调节所述吸嘴的位置;
其中,所述摆臂本体搭载于所述连接座上的位置为摆动部,所述摆动部与所述吸嘴之间的距离大于所述摆动部与所述压力调节动力单元之间的距离。
在一个实施例中,所述自动切换压力式摆臂还包括连接所述连接座与所述摆臂本体的弹性件。
在一个实施例中,所述自动切换压力式摆臂还包括用于与所述连接座配合以将所述弹性件的一端夹持的第一压板和用于与所述摆臂本体配合以将所述弹性件的另一端夹持的第二压板;所述第一压板与所述连接座相连,所述第二压板与所述摆臂本体相连。
在一个实施例中,所述第一压板与所述第二压板间隔设置。
在一个实施例中,所述压力调节动力单元包括安装于所述连接座上的气缸和与所述气缸之活塞杆相连的连接块,所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端与所述连接块相连。
在一个实施例中,所述连接块上安装有固定轴,所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端开设有供所述固定轴穿过的通孔。
在一个实施例中,所述连接块上开设有供所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端伸入的凹槽,所述固定轴穿过所述凹槽设置。
在一个实施例中,所述气缸上分别安装有用于在所述吸嘴取晶时施加压力的第一通气嘴和用于在所述吸嘴固晶时施加压力的第二通气嘴。
在一个实施例中,所述自动切换压力式摆臂还包括安装于所述连接座上的第一触控导电杆和安装于所述摆臂本体上的第二触控导电杆;所述第一触控导电杆和所述第二触控导电杆正对设置。
在一个实施例中,所述连接座包括支撑所述摆臂本体的底座和支撑所述压力调节动力单元的支撑座,所述支撑座安装于所述底座上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造