[发明专利]一种TFT电路基板生产工艺在审
| 申请号： | 202110256108.7 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113056093A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王鹤杰;王鹤尧 | 申请（专利权）人： | 深圳市昱安旭瓷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K1/03 | 分类号： | H05K1/03;H05K3/00;H05K3/18 |
| 代理公司： | 深圳市新虹光知识产权代理事务所(普通合伙) 44499 | 代理人： | 刘菊美 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tft 路基 生产工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种TFT电路基板生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
选取基材，所述基材为玻璃或者陶瓷制成；
对所述基材进行表面处理，通过真空溅射的方法在所述基材的表面溅射一层过渡金属薄层；
在所述过渡金属薄层的表面贴设高分辨率的曝光干膜，通过曝光机在基材上曝光出阴文线路图形；
通过脉冲电镀在基材上电镀出电路图形，去掉曝光干膜、去除真空溅射形成的过渡金属薄层，对基材上的电路表面进行沉金或其他保护处理；
将基材激光切割出需要的尺寸得到成品。
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