[发明专利]密封装置、激光器和激光退火设备

权利要求书

1.一种激光管的密封装置，用于设置在所述激光管的端部，并对所述激光管的端部进行密封，其特征在于，所述密封装置包括：

具有开口的壳体；

设置在所述壳体上的安装板，所述安装板具有用于可拆卸地安装介质窗的安装区，所述安装板能够沿所述开口的深度方向移动，以使所述安装区能够伸入或伸出所述壳体；

限位组件，设置在所述安装板上，所述限位组件在所述安装板上安装有所述介质窗时，处于第一状态；所述限位组件在所述安装板上未安装所述介质窗、且所述安装区伸出至所述壳体外时，处于第二状态；所述第一状态为：所述限位组件能够伸入所述壳体的状态；所述第二状态为：所述限位组件的至少一部分抵靠在所述壳体的外壁上，以阻止所述安装区伸入所述壳体的状态；

所述限位组件包括限位杆，所述限位杆和所述安装区位于所述安装板的同一面，所述限位杆的第一端设置有载重；

当所述限位组件处于所述第一状态时，所述载重与所述安装区中的介质窗抵靠；

当所述限位组件处于所述第二状态时，所述限位杆绕其中部的支点转动，以使所述限位杆的第二端抵靠在所述壳体的外壁上。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述载重与所述限位杆可拆卸的连接。

3.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述限位组件还包括限位件，所述限位件设置在所述安装板上，用于限定所述限位杆的转动角度。

4.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述限位组件包括限位杆和弹性件，所述弹性件的一端与所述安装板连接，所述弹性件的另一端与所述限位杆的第一端连接；

当所述限位组件处于所述第一状态时，所述限位杆的第一端与所述安装区中的介质窗抵靠，且所述弹性件处于形变状态。

5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述弹性件和所述安装区位于所述限位杆的同一侧，且所述弹性件位于所述限位杆靠近所述安装区的一侧，所述形变状态为拉伸状态。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述壳体上设置有滑轨，所述安装板可滑动地设置在所述滑轨上，所述滑轨沿所述开口的深度方向延伸移动。

7.一种激光器，其特征在于，包括：激光管和如权利要求1至6中任一项所述的密封装置；

所述壳体设置在所述激光管端部，所述安装板具有朝向所述激光管的第一面和与所述第一面相对设置的第二面，所述安装区位于所述第二面上。

8.根据权利要求7所述的激光器，其特征在于，所述激光管包括相对设置的第一端和第二端，所述激光管的第一端和第二端上均设置有所述密封装置。

9.一种激光退火设备，其特征在于，包括：权利要求7或8所述的激光器。