[发明专利]密封装置、激光器和激光退火设备

说明书

本发明提供一种密封装置、激光器和激光退火设备，涉及显示设备制造技术领域，其中，密封装置包括：具有开口的壳体；设置在壳体上的安装板，安装板具有用于可拆卸地安装介质窗的安装区，安装板能够沿开口的深度方向移动，以使安装区能够伸入或伸出壳体；限位组件，设置在安装板上，限位组件在安装板上安装有介质窗时，处于第一状态；限位组件在安装板上未安装介质窗、且安装区伸出至壳体外时，处于第二状态；第一状态为：限位组件能够伸入壳体的状态；第二状态为：限位组件的至少一部分抵靠在壳体的外壁上，以阻止安装区伸入壳体的状态。本发明能够避免出现未将介质窗安装到安装板上就将安装板推进壳体中的情况发生，防止由此导致的密封失效问题。

技术领域

本发明涉及显示设备制造技术领域，具体涉及一种密封装置、激光器和激光退火设备。

背景技术

现有的显示装置中的多晶硅层常利用准分子激光退火(Excimer LaserAnnealing)设备制备得到。准分子激光退火设备能够发出的准分子激光束，该激光束对待处理基板上的非晶硅层进行照射后，能够使其再结晶变成多晶硅层。

发明内容

本发明提出了一种激光管的密封装置，用于设置在所述激光管的端部，并对所述激光管的端部进行密封，其中，所述密封装置包括：

具有开口的壳体；

设置在所述壳体上的安装板，所述安装板具有用于可拆卸地安装介质窗的安装区，所述安装板能够沿所述开口的深度方向移动，以使所述安装区能够伸入或伸出所述壳体；

限位组件，设置在所述安装板上，所述限位组件在所述安装板上安装有所述介质窗时，处于第一状态；所述限位组件在所述安装板上未安装所述介质窗、且所述安装区伸出至所述壳体外时，处于第二状态；所述第一状态为：所述限位组件能够伸入所述壳体的状态；所述第二状态为：所述限位组件的至少一部分抵靠在所述壳体的外壁上，以阻止所述安装区伸入所述壳体的状态。

可选地，所述限位组件包括限位杆，所述限位杆和所述安装区位于所述安装板的同一面，所述限位杆的第一端设置有载重；

当所述限位组件处于所述第一状态时，所述载重与所述安装区中的介质窗抵靠；

当所述限位组件处于所述第二状态时，所述限位杆绕其中部的支点转动，以使所述限位杆的第二端抵靠在所述壳体的外壁上。

可选地，所述载重与所述限位杆可拆卸的连接。

可选地，所述限位组件还包括限位件，所述限位件设置在所述安装板上，用于限定所述限位杆的转动角度。

可选地，所述限位组件包括限位杆和弹性件，所述弹性件的一端与所述安装板连接，所述弹性件的另一端与所述限位杆的第一端连接；

当所述限位组件处于所述第一状态时，所述限位杆的第一端与所述安装区中的介质窗抵靠，且所述弹性件处于形变状态。

可选地，所述弹性件和所述安装区位于所述限位杆的同一侧，且所述弹性件位于所述限位杆靠近所述安装区的一侧，所述形变状态为拉伸状态。

可选地，所述壳体上设置有滑轨，所述安装板可滑动地设置在所述滑轨上，所述滑轨沿所述开口的深度方向延伸移动。

本发明还提供一种激光器，包括：上述的密封装置；

所述壳体设置在所述激光管端部，所述安装板具有朝向所述激光管的第一面和与所述第一面相对设置的第二面，所述安装区位于所述第二面上。

可选地，所述激光管包括相对设置的第一端和第二端，所述激光管的第一端和第二端上均设置有所述密封装置。

本发明还提供一种激光退火设备，包括：上述的激光器。

附图说明