[发明专利]一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料及其制备方法

权利要求书

1.一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料，其特征在于：一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料是由30-60wt%的镧硼酸盐晶化玻璃，1-5wt%一种高软化温度的非晶玻璃以及35-65 wt%的陶瓷材料复合组成，所述的镧硼酸盐晶化玻璃组成为：15-20wt%CaO、30-40wt%B₂O₃、35-45wt%La₂O₃、0-5wt%Al₂O₃、0-6wt%M₂O，M₂O为Na₂O、K₂O、Li₂O中的一种或两种混合物，所述的高软化温度的非晶玻璃组成为：60-75wt%SiO₂、20-30wt%B₂O₃、0-2 wt%Al₂O₃、0-5wt%Na₂O，所述的陶瓷材料为SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、BaTiO₃、CaTiO₃、MgTiO₃中的一种或两种混合物。

2.根据权利要求1的一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料，其特征在于：所述的镧硼酸盐晶化玻璃组成成分中部分B₂O₃用SiO₂取代，调节镧硼酸盐晶化玻璃稳定性。

3.根据权利要求1的一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料，其特征在于：所述的镧硼酸盐晶化玻璃组成成分中部分CaO用MgO取代，调节镧硼酸盐晶化玻璃析晶性能。

4.根据权利要求1所述的可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板材料的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：

微晶玻璃制备：玻璃组成 15-20wt%CaO、30-40wt%B₂O₃、35-45wt%La₂O₃、0-5wt%Al₂O₃、0-6wt%M₂O，M₂O为Na₂O、K₂O、Li₂O中的一种或两种混合物，CaO以CaCO₃形式加入，B₂O₃以H₂BO₃形式加入，Na₂O、K₂O、Li₂O也以碳酸盐形式加入；

按比例称取各原材料，放入混料机进行原料混合；将混合后的原料放入铂金坩埚中，放入高温玻璃熔制炉中，1200℃-1400℃熔制0.5-1小时，形成均匀的玻璃液；将熔融的玻璃液倒入去离子水中淬火，形成玻璃渣；然后用水介质、氧化铝或氧化锆球磨子按料：球：水为1：2.5：1球磨4-12小时，过350目筛，粒度控制在1-5微米，将球磨后的料浆烘干流延备用；

高软化温度的非晶玻璃制备

高软化温度的非晶玻璃组成：60-75wt%SiO₂、20-30wt%B₂O₃、0-2 wt%Al₂O₃、0-5wt%Na₂O，其中B₂O₃以H₂BO₃形式加入，Na₂O以Na₂CO₃形式加入；

按比例称取各原材料，放入混料机进行原料混合；将混合后的原料放入铂金坩埚中，放入高温玻璃熔制炉中，1500℃-1600℃熔制1-1.5小时，形成均匀的玻璃液；将熔融的玻璃液倒入去离子水中淬火，形成玻璃渣；然后用水介质、氧化铝或氧化锆球磨子按料：球：水为1：2.5：1球磨4-12小时，过350目筛，粒度控制在1-5微米，将球磨后的料浆烘干流延备用；

将微晶玻璃粉、高软化温度玻璃粉、陶瓷材料按30-60wt%的镧硼酸盐晶化玻璃，1-5wt%高软化温度非晶玻璃，35-65 wt%的陶瓷材料加入球磨罐中，加入有机溶剂、分散剂、有机粘合剂、增塑剂等；将粉体、溶剂、分散剂加入球磨罐中辊磨4小时后，再加入有机粘合剂、增塑剂继续辊磨14小时，然后真空脱泡10分钟，然后进行流延得到生瓷膜带；

将制得的LTCC生瓷膜带冲制成150mm×150mm生瓷片，采用光学对位印刷机印制上所需要的电极图形，叠片后在等静压机中以3000psi，70℃热压10分钟，将热压后的生瓷坯体放入高温箱式炉中，先进行排胶，排胶后以6-8℃/分升温至835-875℃保温10-15分钟，烧结后制得一种可电镀或化学镀的高频低损耗LTCC基板。