[发明专利]一种晶圆贴膜设备及贴膜方法

权利要求书

1.一种晶圆贴膜设备，其特征在于：包括：

置放台(100)，用于放置晶圆(1)，所述晶圆(1)具有轴线(1a)；

输送单元(200)，用于将贴合膜(2)输送至所述晶圆(1)上方；以及

贴膜单元(300)，包括升降机构(3)和设置在所述升降机构(3)上的喷阀(4)，所述喷阀(4)位于所述贴合膜(2)上方，所述升降机构(3)可驱动所述喷阀(4)靠近和远离所述晶圆(1)；

其中，所述喷阀(4)包括供气流喷向所述晶圆(1)的第一出气口(451)和第二出气口(461)，所述第一出气口(451)的出气方向与所述轴线(1a)相重合，所述第二出气口(461)环绕设置在所述第一出气口(451)外围，所述第二出气口(461)的出气方向与所述轴线(1a)具有夹角α，所述夹角α为锐角。

2.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述喷阀(4)包括阀体(41)和设置在所述阀体(41)内的活塞筒(42)，所述活塞筒(42)内形成有第一气道(43)，所述阀体(41)和所述活塞筒(42)之间形成有第二气道(44)，所述第一气道(43)具有所述第一出气口(451)，所述第二气道(44)具有所述第二出气口(461)。

3.如权利要求2所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述阀体(41)上开设有与所述第一气道(43)相连通的第一进气口(411)以及与所述第二气道(44)相连通的第二进气口(412)。

4.如权利要求2所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述活塞筒(42)可沿着所述轴线(1a)相对所述阀体(41)伸缩，以调节所述第二出气口(461)的开口大小。

5.如权利要求4所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述阀体(41)和所述活塞筒(42)之间还形成有密闭的调节腔(48)，所述活塞筒(42)可沿着所述轴线(1a)方向移动以扩大和缩小所述调节腔(48)，所述阀体(41)上开设有分别与所述调节腔(48)和外部气路相连通的第三进气口(414)，气流可自所述第三进气口(414)进出所述调节腔(48)，以控制所述调节腔(48)的扩大或收缩。

6.如权利要求5所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述活塞筒(42)与所述阀体(41)之间设置有弹性件(49)，以限制所述活塞筒(42)在所述轴线(1a)方向上的移动。

7.如权利要求2所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述喷阀(4)还包括：

第一喷嘴帽(45)，可拆卸连接在所述活塞筒(42)的端部，所述第一出气口(451)成型在所述第一喷嘴帽(45)上；以及

第二喷嘴帽(46)，可拆卸连接在所述阀体(41)的端部，并与所述第一喷嘴帽(45)相对应，所述第二喷嘴帽(46)和所述第一喷嘴帽(45)之间形成所述第二出气口(461)。

8.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述输送单元(200)包括输送所述贴合膜(2)的送料卷轴(5)和收料卷轴(6)，所述送料卷轴(5)和所述收料卷轴(6)配合张紧所述贴合膜(2)，并使所述贴合膜(2)与所述晶圆(1)相平行。