[发明专利]蒸发器换热组件、换热水箱及晶圆加工设备用温控装置

权利要求书

1.一种蒸发器换热组件，其特征在于，包括：

蒸发器，包括翅片；

导流组件，包括位于所述蒸发器相对两侧且上下错位设置的导流槽，位于所述蒸发器相对两侧的所述导流槽之间通过翅片流体连通，以形成经过所述翅片的导流路径；所述导流槽包括位于所述蒸发器第一侧的第一导流槽和位于所述蒸发器第二侧的第二导流槽，所述第一侧和所述第二侧相对设置。

2.根据权利要求1所述的蒸发器换热组件，其特征在于，所述导流槽包括沿着所述导流路径位于上方的第一导流侧壁和位于下方的第二导流侧壁，所述第一导流侧壁和所述第二导流侧壁相对设置，所述翅片一端衔接所述第二导流侧壁，另一端对应所述导流槽的槽口。

3.根据权利要求1所述的蒸发器换热组件，其特征在于，所述导流组件还包括：

第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板相对设置，且所述第一挡板封堵所述导流槽的第一端，所述第二挡板封堵所述导流槽的第二端。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发器换热组件，其特征在于，所述第一导流槽和所述第二导流槽的数量均为多个。

5.根据权利要求4所述的蒸发器换热组件，其特征在于，所述第一导流槽和所述第二导流槽均包括多个间隔设置的C字型导流槽以及位于相邻所述C字型导流槽之间的间隙导流槽。

6.一种换热水箱，其特征在于，包括：

箱体，形成有换热介质的入口和出口；

权利要求1至5中任意一项所述的蒸发器换热组件，所述蒸发器换热组件位于所述箱体中，且所述导流路径形成于所述入口和所述出口之间，且所述导流路径经过所述蒸发器的上部集管进入所述导流槽，并通过所述蒸发器的下部集管离开所述下部集管。

7.根据权利要求6所述的换热水箱，其特征在于，所述箱体内设置有分隔板，所述分隔板将所述箱体分隔形成第一容纳腔室和第二容纳腔室，所述第一容纳腔室和所述第二容纳腔室底部连通，所述蒸发器换热组件位于所述第一容纳腔室，所述第二容纳腔室中设置有加热器。

8.根据权利要求7所述的换热水箱，其特征在于，所述分隔板底部形成有多个通孔，多个所述通孔连通所述第一容纳腔室和所述第二容纳腔室，所述通孔对应所述分隔板中部的开孔比率小于所述通孔对应所述分隔板两侧的开孔比率。

9.根据权利要求7或8所述的换热水箱，其特征在于，在所述导流组件包括第一挡板和第二挡板的情况下，所述第一挡板和所述第二挡板的一侧均抵接所述分隔板，另一端均抵接所述第一容纳腔室的内壁，以在所述第一挡板、所述第二挡板、所述分隔板和所述内壁之间形成换热介质的流通腔室；

和/或，所述入口连通所述第一容纳腔室，所述出口连通所述第二容纳腔室，所述第二容纳腔室连通加液管；

和/或，所述加热器通过法兰连接所述第二容纳腔室的侧壁，且所述加热器一端位于所述第二容纳腔室中，另一端伸出于所述第二容纳腔室。

10.一种晶圆加工设备用温控装置，其特征在于，包括权利要求6至9中任意一项所述的换热水箱。