[发明专利]一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于，包括：抗静电聚酯层(2)和聚酯薄膜基材(1)；

所述抗静电聚酯层(2)设置在所述聚酯薄膜基材(1)的上端面；

所述抗静电聚酯层(2)包括：第一抗静电聚酯层(21)、粘接层(22)、和第二抗静电聚酯层(23)，所述第二抗静电聚酯层(23)设置在所述粘接层(22)下表面，所述粘接层(22)设置在所述第一抗静电聚酯层(21)下表面，所述第一抗静电聚酯层(21)设置在表层保护层下表面；

所述抗静电聚酯层（2）的重量份数组成包括：

改性纳米无机粒子2-10份

丙烯腈3-10份

丙烯酸乙酯40-60份

改性导电高分子1-5份

甲基丙烯酸1-3份；

步骤如下：

(a)所述抗静电聚酯层(2)的制备

S1、精确称量一定质量的改性纳米无机粒子、丙烯腈、丙烯酸乙酯、改性导电高分子和甲基丙烯酸；

S2、在60～80℃条件下反应1～3小时；

S3、在40～60℃条件下继续保温1～2小时；

S4、将合成的树脂冷却至室温，即得丙烯酸酯树脂；

S5、将丙烯酸酯树脂送入螺杆挤出机内熔融，在220℃～320℃下熔融挤出，熔体在转动的冷却辊上形成无定型厚片；

S6、在无定型厚片上均匀涂覆粘接剂，定型后形成所述粘接层(22)；

S7、在所述粘接层(22)上继续挤出丙烯酸酯树脂，形成无定型厚片；

S8、将厚片预热后纵向拉伸4～6倍，再横向拉伸2～3倍；

S9、将双向拉伸后的薄膜在150℃～300℃下热定型，最终得到所述抗静电聚酯层(2)；

(b)抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜的制备

S1、吹风冷却并贴附在所述聚酯薄膜基材(1)上；

S2、收卷成膜，打包入库；

所述聚酯薄膜基材(1)的厚度比所述抗静电聚酯层(2)的厚度大500μm；

所述第一抗静电聚酯层(21)的厚度比所述第二抗静电聚酯层(23)的厚度大100μm。

2.根据权利要求1所述的一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于，导电高分子为聚吡咯、聚噻吩、聚苯胺中的一种或几种组合。

3.根据权利要求1所述的一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于，纳米无机粒子包括纳米氧化锌、纳米二氧化硅、纳米二氧化钛粒子的一种或其组合。

4.根据权利要求1所述的一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于，改性导电高分子的制备步骤如下：

S1、以质量份数计，通氮气和冰浴条件下，将8-15份1-(4-氨基苯基)-2-吡咯烷酮、2-3份表面活性剂、30-50份导电高分子单体、2-4份过硫酸铵溶于60-80份1-2mol/L的盐酸中；

S2、然后冰浴下搅拌反应5-8h，真空抽滤，然后加入去离子水和乙醇溶解再抽滤；

S3、重复上述操作至溶液呈中性，然后加入氢氧化钠调节溶液pH至9，通过喷雾造粒法造粒，即为改性导电高分子。