[发明专利]一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法在审

专利信息
申请号: 202110274241.5 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN113008798A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 张雨茜;敖海林 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/95
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 周耀君
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 明光 缺陷 检测 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种照明光路,应用于缺陷检测装置中,其特征在于,所述照明光路包括光源和斜射光路,所述斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置,所述光强测量装置包括探头和探头支架;

所述探头安装于所述探头支架上,所述探头支架位于所述斜射光路的末端;

所述探头支架与一驱动件相连,所述驱动件用于控制所述探头支架的转向;

当所述缺陷检测装置处于工作状态时,在所述驱动件的作用下,所述探头偏离所述照明光路;

当需要测量所述斜射光路的末端的光强时,在所述驱动件的作用下,所述光源发射的光线能够经所述斜射光路达到所述探头。

2.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述驱动件与一电磁阀相连,所述电磁阀用于控制所述驱动件的工作状态。

3.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述光源为激光发射器。

4.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述探头支架上设有用于安装所述测量镜头的第一卡槽。

5.根据权利要求4所述的照明光路,其特征在于,所述探头支架靠近所述第一卡槽的边缘均设有第二卡槽,所述第二卡槽的开口朝向所述第一卡槽,所述第二卡槽用于供所述探头的边缘卡入。

6.根据权利要求4所述的照明光路,其特征在于,所述光强测量装置还包括与所述探头支架可拆卸式相连的卡块,所述卡块设于所述第一卡槽的开口所在位置处。

7.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述光强测量装置还包括与所述探头通信连接的测量机身,所述测量机身上设有显示屏。

8.一种缺陷检测装置,其特征在于,包括如权利要求1至7中任一项所述的照明光路。

9.一种如权利要求1至7中任一项所述的照明光路的光强测量方法,其特征在于,所述光强测量方法包括:

接收测量光强的指令;

控制所述驱动件带动所述探头支架转动,以使得所述探头位于所述照明光路上;

所述探头接收通过所述斜射光路的光线,以测量所述斜射光路的末端的光强。

10.根据权利要求9所述的照明光路的光强测量方法,其特征在于,所述光强测量方法还包括:

将测得的所述斜射光路的末端的光强进行显示。

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