[发明专利]一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法在审
申请号: | 202110274241.5 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN113008798A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 张雨茜;敖海林 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 明光 缺陷 检测 装置 测量方法 | ||
1.一种照明光路,应用于缺陷检测装置中,其特征在于,所述照明光路包括光源和斜射光路,所述斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置,所述光强测量装置包括探头和探头支架;
所述探头安装于所述探头支架上,所述探头支架位于所述斜射光路的末端;
所述探头支架与一驱动件相连,所述驱动件用于控制所述探头支架的转向;
当所述缺陷检测装置处于工作状态时,在所述驱动件的作用下,所述探头偏离所述照明光路;
当需要测量所述斜射光路的末端的光强时,在所述驱动件的作用下,所述光源发射的光线能够经所述斜射光路达到所述探头。
2.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述驱动件与一电磁阀相连,所述电磁阀用于控制所述驱动件的工作状态。
3.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述光源为激光发射器。
4.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述探头支架上设有用于安装所述测量镜头的第一卡槽。
5.根据权利要求4所述的照明光路,其特征在于,所述探头支架靠近所述第一卡槽的边缘均设有第二卡槽,所述第二卡槽的开口朝向所述第一卡槽,所述第二卡槽用于供所述探头的边缘卡入。
6.根据权利要求4所述的照明光路,其特征在于,所述光强测量装置还包括与所述探头支架可拆卸式相连的卡块,所述卡块设于所述第一卡槽的开口所在位置处。
7.根据权利要求1所述的照明光路,其特征在于,所述光强测量装置还包括与所述探头通信连接的测量机身,所述测量机身上设有显示屏。
8.一种缺陷检测装置,其特征在于,包括如权利要求1至7中任一项所述的照明光路。
9.一种如权利要求1至7中任一项所述的照明光路的光强测量方法,其特征在于,所述光强测量方法包括:
接收测量光强的指令;
控制所述驱动件带动所述探头支架转动,以使得所述探头位于所述照明光路上;
所述探头接收通过所述斜射光路的光线,以测量所述斜射光路的末端的光强。
10.根据权利要求9所述的照明光路的光强测量方法,其特征在于,所述光强测量方法还包括:
将测得的所述斜射光路的末端的光强进行显示。
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