[发明专利]一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法

说明书

本发明提供了一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法，所述照明光路包括光源和斜射光路，斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置，光强测量装置包括探头和探头支架；探头安装于探头支架上，探头支架位于斜射光路的末端；探头支架与一驱动件相连，驱动件用于控制探头支架的转向；当缺陷检测装置处于工作状态时，在驱动件的作用下，探头偏离所述照明光路；当需要测量斜射光路的末端的光强时，在驱动件的作用下，光源发射的光线能够经斜射光路达到探头。本发明提供的光强测量装置避免了手动测量光强，达到了自动化测量光强的目的，既减少了停止设备测量光强的时间，提高了设备的运行效率，又能够直接在设备外对检测到的光强进行读数。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法。

背景技术

目前测量KT SP2型号的机台内的激光光强的方法为手动测量，往往在测量时，由于机台内的激光光强一般在200MW～300MW之间，目光不可直视，测量人员需要佩戴好防护眼镜，然后拆开机台的光路盖板，在斜射光路末端处测量激光光强。

然而，现有技术中的测量方法，需要人工进行手动测量，既费时费力，加大了工作量，且增加了机台的复机时间，降低了设备的运行效率，又由于激光的直射，容易发生对测量人员的眼睛造成损伤的风险。

因此，有必要发明一种能够自动测量机台内激光在斜射光路的末端处光强的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种照明光路、缺陷检测装置及光强测量方法，以解决现有技术中存在的手动测量光强的方法需要拆开光路盖板，且费时费力、测量效率不高和易影响设备的运行效率以及易对测量人员的眼睛造成损伤的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种照明光路，应用于缺陷检测装置中，所述照明光路包括光源和斜射光路，所述斜射光路的末端设有用于测量光强的光强测量装置，所述光强测量装置包括探头和探头支架；

所述探头安装于所述探头支架上，所述探头支架位于所述斜射光路的末端；

所述探头支架与一驱动件相连，所述驱动件用于控制所述探头支架的转向；

当所述缺陷检测装置处于工作状态时，在所述驱动件的作用下，所述探头偏离所述照明光路；

当需要测量所述斜射光路的末端的光强时，在所述驱动件的作用下，所述光源发射的光线能够经所述斜射光路达到所述探头。

可选的，所述驱动件与一电磁阀相连，所述电磁阀用于控制所述驱动件的工作状态。

可选的，所述光源为激光发射器。

可选的，所述探头支架上设有用于安装所述测量镜头的第一卡槽。

可选的，所述探头支架靠近所述第一卡槽的边缘均设有第二卡槽，所述第二卡槽的开口朝向所述第一卡槽，所述第二卡槽用于供所述探头的边缘卡入。

可选的，所述光强测量装置还包括与所述探头支架可拆卸式相连的卡块，所述卡块设于所述第一卡槽的开口所在位置处。

可选的，所述光强测量装置还包括与所述探头通信连接的测量机身，所述测量机身上设有显示屏。

本发明还提供一种缺陷检测装置，其特征在于，包括如上所述的照明光路。

本发明还提供一种如上所述的照明光路的光强测量方法，所述光强测量方法包括：

接收测量光强的指令；

控制所述驱动件带动所述探头支架转动，以使得所述探头位于所述照明光路上；

所述探头接收通过所述斜射光路的光线，以测量所述斜射光路的末端的光强。