[发明专利]清洁抛光垫的设备和抛光装置

权利要求书

1.一种清洁抛光垫的设备，其特征在于，所述设备包括：

第一气体管嘴，所述第一气体管嘴用于将气体喷射到所述抛光垫的孔；以及

第一液体管嘴，所述第一液体管嘴用于将液体喷射到所述抛光垫的孔。

2.根据权利要求1所述的设备，所述设备进一步包括：

第二液体管嘴，所述第二液体管嘴被布置成与所述第一液体管嘴相邻，以将液体喷射到所述抛光垫的孔。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述第一液体管嘴和所述第二液体管嘴之间的分隔距离大于所述抛光垫的所述孔的入口的直径。

4.根据权利要求2所述的设备，所述设备进一步包括：

第三液体管嘴，所述第三液体管嘴被布置在所述第一液体管嘴和所述第二液体管嘴之间，以将液体喷射到所述抛光垫的孔。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第一液体管嘴至所述第三液体管嘴中的每一个能够围绕垂直于所述抛光垫的表面的垂直轴线旋转，以沿多个方向喷射。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述第一液体管嘴相对于所述抛光垫以第一倾斜角布置，所述第二液体管嘴相对于所述抛光垫以第二倾斜角布置，并且所述第三液体管嘴相对于所述抛光垫垂直地布置。

7.根据权利要求4所述的设备，所述设备进一步包括：

第二气体管嘴，所述第二气体管嘴用于将气体喷射到所述抛光垫的孔。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述第二气体管嘴被布置成比所述第一气体管嘴更靠近所述第一液体管嘴至所述第三液体管嘴中的一个。

9.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第三液体管嘴被布置在所述第一液体管嘴和所述第二液体管嘴之间。

10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述第一液体管嘴至所述第三液体管嘴被布置在所述第一气体管嘴和所述第二气体管嘴之间。

11.根据权利要求7所述的设备，其中，所述第一液体管嘴至所述第三液体管嘴的布置方向不同于所述第一气体管嘴和所述第二气体管嘴的布置方向。

12.根据权利要求4所述的设备，所述设备进一步包括：

至少一个臂，所述至少一个臂用于支撑所述第一气体管嘴和所述第二气体管嘴以及所述第一液体管嘴至所述第三液体管嘴。

13.根据权利要求4所述的设备，所述设备进一步包括：

刷子，所述刷子用于修整所述抛光垫的表面。

14.根据权利要求13所述的设备，其中，所述刷子被布置成与所述第一气体管嘴和所述第二气体管嘴中的至少一个气体管嘴相邻。

15.根据权利要求1所述的设备，其中，所述气体是空气，所述液体是洗涤水。

16.根据权利要求1所述的设备，其中，通过所述第一气体管嘴喷射气体以扩大所述抛光垫的所述孔内的容积，以及

通过所述第一液体管嘴将液体喷射到扩大的所述孔内，使得残留在扩大的孔中的异物或浆料被抛出。

17.一种抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括：

台板；

抛光垫，所述抛光垫被布置在所述台板上；

抛光头，所述抛光头被定位在所述抛光垫上，吸附到所述抛光垫的下部分并压靠在所述抛光垫上；

浆料喷射管嘴，所述浆料喷射管嘴将浆料喷射到所述抛光垫上；以及

清洁抛光垫的设备，

其中，所述清洁抛光垫的设备包括：

第一气体管嘴，所述第一气体管嘴用于将气体喷射到所述抛光垫的孔；以及

第一液体管嘴，所述第一液体管嘴用于将液体喷射到所述抛光垫的孔。