[发明专利]一种超薄膜电镀设备在审
申请号: | 202110279408.7 | 申请日: | 2021-03-16 |
公开(公告)号: | CN112853453A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 田爱民 | 申请(专利权)人: | 昆山元天电子有限公司 |
主分类号: | C25D19/00 | 分类号: | C25D19/00;C25D17/00;C25D5/54;C25D7/00;C25D17/06;C25D5/08;C25D21/18 |
代理公司: | 苏州汉东知识产权代理有限公司 32422 | 代理人: | 葛娟 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 电镀 设备 | ||
1.一种超薄膜电镀设备,其特征在于:包括第一电镀槽、第二电镀槽和膜传送机构,所述第一电镀槽和第二电镀槽并排设置,所述膜传送机构用以传送并承托待电镀膜依次进入所述第一电镀槽和第二电镀槽而使得待电镀膜在所述第一电镀进行正面电镀、在所述第二电镀槽内进行反面电镀。
2.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述膜传送机构包括膜释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮,所述第一载体轮和第二载体轮分别水平设置于所述所述第一电镀槽和第二电镀槽中,且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致,所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动;
所述膜释放轮用以释放待电镀膜至所述第一电镀槽内;
所述第一载体轮用以使得待电镀膜的反面贴附其轮周面移入电解液中,并贴附其轮周面而移出电解液;
所述第二载体轮用以使得待电镀膜的正面贴附其轮周面移入电解液中,并贴附其轮周面而移出电解液;
所述正反面转换组件用以使得从所述第一电镀槽出来的电镀膜正反面对置后而进入至所述第二电镀槽内进行另一面的电镀。
3.根据权利要求2所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述膜传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮;
所述第一过渡轮和第二过渡轮分别水平设置所述第一电镀槽的上方,并且位于所述第一载体轮的上部两侧,所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以引导待电镀膜移入至所述第一电镀槽和引导电镀膜移出所述第一电镀槽;
所述第三过渡轮和第四过渡轮分别设置所述第二电镀槽的上方,并且位于所述第二载体轮的上部两侧,所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以引导待电镀膜移入至所述第二电镀槽和引导电镀膜移出所述第二电镀槽。
4.根据权利要求2所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述正反面转换组件包括位于所述第一电镀槽和第二电镀槽之间的固定架和设置于所述固定架上的第一转换轮,所述第一转换轮所在高度高于所述第一载体轮和第二载体轮所在高度,所述第一转换轮用以支承从所述第一电镀槽的末端移出后反向折回的电镀膜。
5.根据权利要求4所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述正反面转换组件还包括水平固设于所述固定架上第二转换轮和第三转换轮,所述第二转换轮和第三转换轮位于所述第一转换轮的两侧,且低于所述第一转换轮。
6.根据权利要求2所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:还包括第一导电机构和第二导电机构,所述第一导电机构和第二导电机构分别用以通过导电方式吸引离子沉积在膜上。
7.根据权利要求6所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述第一导电机构包括循环转动的第一导电同步带和与所述第一导电同步带匹配的多个第一同步轮,所述第一导电同步带在循环转动的过程中一部分位于所述第一电镀槽内而另一部分位于所述第一电镀槽之外,所述第一导电同步带位于所述第一电镀槽内的部分围绕并靠近所述第一载体轮的下方部分轮周,所述第一导电同步带随所述第二载体轮的转动而循环转动;
所述第二导电机构包括循环转动的第二导电同步带和与所述第二导电同步带匹配的多个第二同步轮,所述第二导电同步带在循环转动的过程中一部分位于所述第二电镀槽内而另一部分位于所述第二电镀槽之外,所述第二导电同步带位于所述第二电镀槽内的部分围绕并靠近所述第二载体轮的下方部分轮周,所述第二导电同步带随所述第二载体轮的转动而循环转动。
8.根据权利要求7所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述第一导电同步带设置两个,所述第二导电同步带也设置两个,两个所述第一导电同步带分别位于所述第一载体轮的轴向两侧,两个所述第二导电同步带分别位于所述第二载体轮的轴向两侧。
9.根据权利要求7所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述第一导电同步带和第二导电同步带均包括橡胶层和金属导电层,所述金属导电层与所述第一载体轮/第二载体轮的轮周相对。
10.根据权利要求1所述的一种超薄膜电镀设备,其特征在于:所述第一电镀槽和第二电镀槽的底端部分别设置有进液孔,所述第一电镀槽和第二电镀槽的两侧分别设置有溢流孔,所述溢流孔与收集箱连通,所述收集箱经水泵和管道与所述第一电镀槽/第二电镀槽连通。
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