[发明专利]粒子束装置在审
| 申请号： | 202110284683.8 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113498246A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 户内豊 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H05H7/04 | 分类号： | H05H7/04;H05H7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种粒子束装置，其中，
其具备电磁体，
所述电磁体能够导入来自离子种类互不相同的多个离子源的各离子束，且能够通过切换磁场强度将所述离子束中的一个选择性地射出至下游侧的装置，
所述电磁体具有：
偏转功能，使应该射出至所述下游侧的装置的所述离子束向所述下游侧的装置偏转；及
分析功能，减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝所述下游侧的装置的射出。
2.根据权利要求1所述的粒子束装置，其中，
其具备电流测量装置，
导入至所述电磁体的所述离子束中的一个入射至该电流测量装置，该电流测量装置能够测量该离子束的射束电流，
与朝向所述下游侧的装置的所述离子束不同的所述离子束中的一个入射至所述电流测量装置。
3.根据权利要求2所述的粒子束装置，其中，
所述电流测量装置设置于所述电磁体的内部。
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