[发明专利]粒子束装置在审

专利信息
申请号: 202110284683.8 申请日: 2021-03-17
公开(公告)号: CN113498246A 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 户内豊 申请(专利权)人: 住友重机械工业株式会社
主分类号: H05H7/04 分类号: H05H7/04;H05H7/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 刘杰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 粒子束 装置
【说明书】:

本发明的目的在于提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。粒子束装置(1)具备偏转电磁体(15),该偏转电磁体(15)能够导入来自离子种类互不相同的第1离子源(11)及第2离子源(12)的各离子束(B1、B2),且能够通过切换磁场强度将离子束(B1、B2)中的一个选择性地射出至射束传输系统(19),偏转电磁体(15)具有:偏转功能,使应该射出至射束传输系统(19)的离子束向射束传输系统(19)偏转;及分析功能,减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝射束传输系统(19)的射出。

本申请主张基于2020年3月18日申请的日本专利申请第2020-047850号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种粒子束装置。

背景技术

作为以往的粒子束装置,例如已知下述非专利文献1中记载的粒子束装置。为了能够向射束加速装置供给两种离子束,该粒子束装置具备两个离子源。来自各离子源的两个射束传输路径在电磁体中汇合,且射束传输路径从该电磁体进一步向下游侧延伸,该射束传输路径的下游端配置有射束加速装置。各离子源与电磁体之间的射束传输路径上分别存在偏转电磁体,来自离子源的离子束通过该偏转电磁体偏转约90°,并传输至汇合部的电磁体。

非专利文献1:G.Balbinot et al.,BEAM DIAGNOSTICSIN THE CNAO INJECTIONLINES COMMISSIONING,Proceedings of DIPAC09,Basel,Switzerland,p119-121.

非专利文献2:Tim Winkelmann et al.,LONG-TERMOPERATION EXPERIENCE WITHTWOECRION SOURCES AND PLANNED EXTENSIONS AT HIT,Proceedingsof ECRIS2010,Grenoble,France,p153-155.

非专利文献3:T.Winkelmann et al.,INTEGRATION OFA THIRD ION SOURCE FORHEAVY ION RADIOTHERAPY AT HIT,Proceedings of ECRIS2012,Sydney,Australia,p46-48.

发明内容

在设置这种粒子束装置的设施中,设置空间通常会受到限制,因此期待粒子束装置的小型化。并且,还期待这种粒子束装置的低成本化。本发明的目的在于提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。

本发明的粒子束装置具备电磁体,该电磁体能够导入来自离子种类互不相同的多个离子源的各离子束,且能够通过切换磁场强度将离子束中的一个选择性地射出至下游侧的装置,电磁体具有:偏转功能,使应该射出至下游侧的装置的离子束向下游侧的装置偏转;及分析功能,减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝下游侧的装置的射出。

本发明的粒子束装置可以具备电流测量装置,导入至电磁体的离子束中的一个入射至该电流测量装置,该电流测量装置能够测量该离子束的射束电流,与朝向下游侧的装置的离子束不同的离子束中的一个可以入射至电流测量装置。并且,电流测量装置可以设置于电磁体的内部。

发明效果

根据本发明,能够提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。

附图说明

图1是表示粒子束装置的平面图。

图2中,(a)是示意地表示第1状态下的偏转电磁体附近的图,(b)是示意地表示第2状态下的偏转电磁体附近的图。

图3是示意地表示变形例所涉及的粒子束装置的偏转电磁体附近的图。

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