[发明专利]一种真空chamber干燥机

权利要求书

1.一种真空chamber干燥机，所述干燥机包括由上部室体(201)和下部室体(202)贴合形成的密封设置的真空chamber(200)、设于所述上部室体(201)和下部室体(202)之间的密封圈(240)、多个设于所述下部室体(202)上的真空排气通道(220)、用于将所述真空chamber(200)的密封空间形成真空状态的真空抽气装置、多个可升降的升降插销(250)、用于带动所有的所述升降插销(250)同时进行升降运动的升降装置(280)，所述下部室体(202)对应每个所述升降插销(250)设有升降针孔(210)，所述升降插销(250)可相对所述升降针孔(210)往复运动，其特征在于，所述升降装置(280)包括框架(281)以及驱动所述框架(281)上下移动的驱动装置(282)，所有的所述升降插销(250)均安装在所述框架(281)上，每个所述升降针孔(210)对应设置有用于将所述升降插销(250)保持在气密状态的真空压防漏气装置(260)，所述真空压防漏气装置(260)的两端分别与所述下部室体(202)、框架(281)连接。

2.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述真空压防漏气装置(260)包括弹性波纹管(261)、上连接部(262)以及下连接部(263)，所述上连接部(262)、下连接部(263)分别固定安装在所述弹性波纹管(261)的上、下端，所述上连接部(262)与所述下部室体(202)以气密状态连接，所述下连接部(263)与所述框架(281)以气密状态连接。

3.根据权利要求2所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述弹性波纹管(261)采用树脂材料或者金属材料制成。

4.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述框架(281)与所述下部室体(202)之间设有用于对所述升降运动起到导向作用的导向构件(270)。

5.根据权利要求4所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述导向构件(270)包括导向套筒(271)以及插设于所述导向套筒(271)中的导向柱(272)，所述导向套筒(271)安装于所述框架(281)上，所述导向柱(272)固定安装在所述下部室体(202)的底部。

6.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于,所述升降插销(250)沿所述框架(281)的长度、宽度方向上依次间隔设置。