[发明专利]伸缩块在审
申请号: | 202110285995.0 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN113447675A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 望月纯 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/073 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;刘芃茜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伸缩 | ||
1.一种伸缩块,其特征在于,包括:
导体,其具有:用于与检查部的基片的端子连接的第1端子;用于与探针卡的端子连接的第2端子;和将所述第1端子与所述第2端子之间连结的弹性地可伸缩的连结部,所述导体在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可伸缩;以及
壳体,其具有:保持所述第1端子的第1保持部;保持所述第2端子的第2保持部;以及能够供所述连结部插通的引导部,其对所述第1保持部和所述第2保持部以使它们在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导。
2.一种伸缩块,其特征在于,包括:
导体,其具有:用于与检查部的基片的端子连接的第1端子;用于与探针卡的端子连接的第2端子;和将所述第1端子与所述第2端子之间连结的连结部,所述导体在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可伸缩;
壳体,其具有:保持所述第1端子的第1保持部;保持所述第2端子的第2保持部;以及能够供所述连结部插通的引导部,其对所述第1保持部和所述第2保持部以使它们在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导;以及
弹性部件,其在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上,弹性地支承所述第1保持部、所述第2保持部和所述引导部。
3.如权利要求1或2所述的伸缩块,其特征在于:
所述第1保持部具有限制其相对于所述引导部在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上向所述第2端子侧移动的第1限制部。
4.如权利要求1至3中任一项所述的伸缩块,其特征在于:
所述第2保持部具有限制其相对于所述引导部在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上向所述第1端子侧移动的第2限制部。
5.如权利要求1至4中任一项所述的伸缩块,其特征在于:
所述引导部包括:
主体部;
第1可动部,其能够相对于所述主体部在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上移动,并且对所述第1保持部以使其在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导。
6.如权利要求5所述的伸缩块,其特征在于:
所述第1可动部具有与所述检查部的基片抵接的抵接部。
7.如权利要求5或6所述的伸缩块,其特征在于:
所述引导部还包括第2可动部,所述第2可动部能够相对于所述主体部在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上移动,并且对所述第2保持部以使其在将所述第1端子与所述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导。
8.如权利要求1至7中任一项所述的伸缩块,其特征在于:
所述第1端子、所述第2端子和所述连结部由金属弹簧构成,
所述连结部的弹性系数比所述第1端子和所述第2端子的弹性系数大。
9.如权利要求1至8中任一项所述的伸缩块,其特征在于:
所述导体为导线。
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