[发明专利]伸缩块在审

申请号：	202110285995.0	申请日：	2021-03-17
公开（公告）号：	CN113447675A	公开（公告）日：	2021-09-28
发明（设计）人：	望月纯	申请（专利权）人：	东京毅力科创株式会社
主分类号：	G01R1/04	分类号：	G01R1/04;G01R1/073
代理公司：	北京尚诚知识产权代理有限公司 11322	代理人：	龙淳;刘芃茜
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	伸缩
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【说明书】：

本发明提供一种在检查部的基片与探针卡之间，与检查部的基片的翘曲相应地伸缩从而能够确保电连接的伸缩块。本发明的伸缩块包括：导体，其具有：用于与检查部的基片的端子连接的第1端子；用于与探针卡的端子连接的第2端子；和将上述第1端子与上述第2端子之间连结的弹性地可伸缩的连结部，上述导体在将上述第1端子与上述第2端子连结的方向上可伸缩；以及壳体，其具有：保持上述第1端子的第1保持部；保持上述第2端子的第2保持部；以及能够供上述连结部插通的引导部，其对上述第1保持部和上述第2保持部以使它们在将上述第1端子与上述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导。

技术领域

本发明涉及一种伸缩块。

背景技术

专利文献1公开了一种能够抑制因伸缩块框架(pogo frame)和伸缩块(pogoblock)的热膨胀差导致的位置偏移的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2020-017713号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供一种在检查部的基片与探针卡之间，与检查部的基片的翘曲相应地伸缩从而能够确保电连接的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一方式提供一种伸缩块，其包括：导体，其具有：用于与检查部的基片的端子连接的第1端子；用于与探针卡的端子连接的第2端子；和将上述第1端子与上述第2端子之间连结的弹性地可伸缩的连结部，上述导体在将上述第1端子与上述第2端子连结的方向上可伸缩；以及壳体，其具有：保持上述第1端子的第1保持部；保持上述第2端子的第2保持部；以及能够供上述连结部插通的引导部，其对上述第1保持部和上述第2保持部以使它们在将上述第1端子与上述第2端子连结的方向上可移动的方式进行引导。

发明效果

依照一个方面，能够在检查部的基片与探针卡之间，与检查部的基片的翘曲相应地伸缩从而能够确保电连接的技术。

附图说明

图1是概要地表示一实施方式的搭载有多个检查装置的检查系统10的一例的立体图。

图2是表示设置于检查室11内的检查装置20的概要结构图。

图3是表示伸缩块框架42的平面图。

图4是表示伸缩块42及其周围的截面构造的图。

图5是表示伸缩块42A、42B、42C与测试器主板31的翘曲相应地伸缩的状态的图。

图6是表示实施方式的变形例的伸缩块42M的图。

附图标记说明

30测试器

31测试器主板