[发明专利]确定三维信息

权利要求书

1.一种用于确定基板的结构元件的三维(3D)信息的方法，所述方法包括：

生成或接收所述基板的所述结构元件的一种或多种属性，其中所述一种或多种属性是基于所述结构元件的扫描电子显微镜(SEM)图像而确定的；

从多个模型中搜索相关模型，所述相关模型被估计为以至少预定精度预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；

当找到所述相关模型时，使用所述相关模型预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；以及

响应于未能找到所述相关模型。

2.根据权利要求1所述的方法，其中响应于所述失败包括基于所述基板计算新模型。

3.根据权利要求1所述的方法，其中不同的模型代表不同类别的训练基板。

4.根据权利要求3所述的方法，所述方法包括通过应用分类过程对所述不同的训练基板进行分类。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述分类至少部分地基于与所述不同的训练基板有关的制造信息。

6.根据权利要求1所述的方法，其中某一模型代表能相互预测的某一类别的训练基板。

7.根据权利要求6所述的方法，所述方法包括验证将所述训练基板包括在所述某一类别的训练基板中。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述搜索包括基于(a)所述基板的所述结构元件的所述一种或多种属性与(b)与所述多个模型中的至少一些模型中的每个模型相关联的一种或多种属性之间的关系来确定所述多个模型中的所述至少一些模型的预测的精度。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述搜索包括确定与所述模型中的每个模型有关的预测的置信水平。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中所述基板的所述结构元件的所述一种或多种属性是通过补偿所述基板的所述结构元件的不同位点的SEM图像的采集的差异而产生的。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中所述基板的所述结构元件的属性表示关于所述基板的一组结构元件的信息。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述基板的所述一组结构元件属于所述基板的单个管芯。

13.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中所述一种或多种属性是至少部分地基于关于所述基板的制造工艺的信息而确定的。

14.一种用于确定基板的结构元件的三维(3D)信息的非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质存储指令，所述指令用于：

生成或接收所述基板的所述结构元件的一种或多种属性，其中所述一种或多种属性是基于所述结构元件的扫描电子显微镜(SEM)图像而确定的；

从多个模型中搜索相关模型，所述相关模型被估计为以至少预定精度预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；

当找到所述相关模型时，使用所述相关模型预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；以及

响应于未能找到所述相关模型。

15.一种用于确定基板的结构元件的三维(3D)信息的系统，所述系统包括处理器；

其中所述处理器被配置为：

生成或接收所述基板的所述结构元件的一种或多种属性，其中所述一种或多种属性是基于所述结构元件的扫描电子显微镜(SEM)图像而确定的；

从多个模型中搜索相关模型，所述相关模型被估计为以至少预定精度预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；

当找到所述相关模型时，使用所述相关模型预测所述基板的所述结构元件的所述3D信息；以及

响应于未能找到所述相关模型。

16.根据权利要求15所述的系统，其中所述系统包括成像器，所述成像器被配置为采集所述SEM图像。