[发明专利]一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置有效
申请号: | 202110293987.0 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN112798235B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 范景洋;洪志坤;夏珉;欧昌东;郑增强 | 申请(专利权)人: | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01N21/95 |
代理公司: | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人: | 李佑宏 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 microled miniled 缺陷 检测 方法 装置 | ||
1.一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括:
设置与待测试Microled或Miniled对应的波长选择模块、聚焦模块和探测模块,所述波长选择模块、聚焦模块和探测模块分别设置有与待测试Microled或Miniled的发光基本单元一一对应的波长选择单元、聚焦单元和探测单元;
利用所述波长选择单元选择性透射所述发光基本单元出射的一个或多个不同波段范围的光至所述聚焦单元的不同子单元,通过将聚焦单元的不同子单元所接收的光聚焦至所述探测单元的不同子单元,通过所述探测单元不同子单元的光强探测数据得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据。
2.根据权利要求1所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,所述波长选择单元包括通孔和靠近所述聚焦单元的一侧设置的多个微纳结构单元,一个微纳结构单元透射一个不同波段范围的光或者截止一个不同波段范围的光。
3.根据权利要求2所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其特征在于,所述不同波段范围的光的类型包括R色光、G色光、B色光。
4.根据权利要求3所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,所述多个微纳结构单元为3个亚波长金属光栅微纳臂,所述3个亚波长金属光栅微纳臂以所述通孔为圆心、两两之间呈120°夹角排列,所述3个亚波长金属光栅微纳臂分别截止R色光、G色光、B色光。
5.根据权利要求1所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,所述聚焦单元为微透镜单元,所述聚焦单元的通光区域与所述波长选择单元的透射区域一一对应。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,通过所述探测单元的不同子单元的光强数据得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据包括:
通过对所述探测单元不同子单元的光强数据进行透过率修正后,依次计算出多个不同波段范围光的光强数据。
7.根据权利要求1-5中任一项所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,通过所述探测单元的不同子单元的光强数据得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据包括:
根据设定的阈值对不同波段范围的光的光强数据进行图像二值化处理,以测试待测试Microled或Miniled每一发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强特性是否符合设计参数要求。
8.根据权利要求1-5中任一项所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,通过所述探测单元的不同子单元的光强数据得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据包括:
依次对每一发光基本单元的亮度值进行均值方差运算,根据设定的阈值判决出每一发光基本单元的亮度均值是否超过偏离亮度均值容许的阈值。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的一种Microled或Miniled缺陷检测方法,其中,通过所述探测单元不同子单元的光强探测数据得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据后,根据所述光强数据确认所述发光基本单元与所述探测单元的映射关系,以确定待测试模组每一发光基本单元对应的缺陷判别条件。
10.一种Microled或Miniled缺陷检测装置,其特征在于,所述装置包括与待测试Microled或Miniled对应的波长选择模块、聚焦模块和探测模块,所述波长选择模块、聚焦模块和探测模块分别设置有与待测试Microled或Miniled的发光基本单元一一对应的波长选择单元、聚焦单元和探测单元,
所述波长选择单元用于选择性透射所述发光基本单元出射的一个或多个不同波段范围的光至所述聚焦单元的不同子单元;
所述聚焦单元用于将其不同子单元的所接收到的光聚焦至所述探测单元的不同子单元;
所述探测单元用于探测其不同子单元的光强探测数据,以得到所述发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据。
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