[发明专利]一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置

说明书

本发明公开了一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置，其设置与待测试模组对应的波长选择模块、聚焦模块和探测模块，波长选择模块、聚焦模块和探测模块分别设置有与待测试Microled或Miniled的发光基本单元一一对应的波长选择单元、聚焦单元和探测单元；利用波长选择单元选择性透射发光基本单元出射的一个或多个不同波段范围的光至聚焦单元的不同子单元，通过将聚焦单元的不同子单元所接收到的光聚焦至探测单元的不同子单元，通过探测单元不同子单元的光强探测数据得到发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据，实现对Microled或Miniled上每一个发光基本单元对应多个不同波段范围的光强特性的快速高效检测。

技术领域

本发明属于模组测试技术领域，具体涉及一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置。

背景技术

相比于现今广泛使用的OLED，Microled或Miniled亮度高、分辨率高、寿命长、功耗低、响应速度快，但目前Microled或Miniled的发展过程中仍存在着良品分选、巨量转移、封装散热、集成驱动等诸多技术挑战，这些问题不仅增加了Microled或Miniled的生产成本，同时制约着产品的商业化应用。

在实际应用中，Microled或Miniled的器件参数的一致化是十分影响图像显色质量的要素，然而由于Microled或Miniled的基本发光单元的尺寸为微米级，受到尺寸限制，目前Microled或Miniled的检测技术几乎没有提出一种可靠地对Microled或Miniled的器件单元的RGB三色波长光强是否符合设计参数要求的检测方案。

一般来说，对LED进行发光测试一般有光致发光测试（PL）与电致发光测试（EL）两种。前者一般通过紫外光进行光致发光，具有不损坏且不接触LED面板的优势，但一般只能检测50μm以上尺度的LED，否则检测结果容易受到该技术的干扰；后者一般通过电流进行电致发光，有因通电接触而损伤LED面板的可能。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置，以解决现有技术无法对Microled或Miniled的器件单元的多色波长光强进行快速高效检测的技术问题。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种Microled或Miniled缺陷检测方法，该方法包括：

设置与待测试Microled或Miniled对应的波长选择模块、聚焦模块和探测模块，波长选择模块、聚焦模块和探测模块分别设置有与待测试Microled或Miniled的发光基本单元一一对应的波长选择单元、聚焦单元和探测单元；

利用波长选择单元选择性透射发光基本单元出射的一个或多个不同波段范围的光至聚焦单元的不同子单元，通过将聚焦单元的不同子单元所接收的光聚焦至探测单元的不同子单元，通过探测单元不同子单元的光强探测数据得到发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据。

作为本发明的进一步改进，波长选择单元包括通孔和靠近聚焦单元的一侧设置的多个微纳结构单元，一个微纳结构单元透射一个不同波段范围的光或者截止一个不同波段范围的光。

作为本发明的进一步改进，不同波段范围的光的类型包括R色光、G色光、B色光。

作为本发明的进一步改进，多个微纳结构单元为3个亚波长金属光栅微纳臂，3个亚波长金属光栅微纳臂以通孔为圆心、两两之间呈120°夹角排列，3个亚波长金属光栅微纳臂分别截止R色光、G色光、B色光。

作为本发明的进一步改进，聚焦单元为微透镜单元，聚焦单元的通光区域与波长选择单元的透射区域一一对应。

作为本发明的进一步改进，通过探测单元的不同子单元的光强数据得到发光基本单元出射的对应不同波段范围的光的光强数据包括：