[发明专利]基于一种材料的宽谱段紫外成像仪光学系统有效
申请号: | 202110294069.X | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113050257B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 李寒霜;李博;林冠宇;顾国超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B13/14 | 分类号: | G02B13/14;G02B17/08;G02B5/20;G02B1/00;G03B11/00 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 一种 材料 宽谱段 紫外 成像 光学系统 | ||
1.基于一种材料的宽谱段紫外成像仪光学系统,其特征在于,包括:
间隔地设置在该光学系统中心轴线(7)上的第一透镜(1)和第二透镜(5);
依次布设在所述第一透镜(1)和所述第二透镜(5)之间的折-反射镜组和滤光片(4);以及
设置在所述第二透镜(5)远离所述滤光片(4)侧的探测器(6);
其中,所述第一透镜(1)、所述第二透镜(5)以及所述折-反射镜组的镜片材料均相同,且所述镜片均为球面;
所述折-反射镜组包括两个折-反射镜;
所述折-反射镜组包括第一折-反射镜(2)和第二折-反射镜(3);
所述滤光片(4)远离所述第二透镜(5)侧设置有所述第一折-反射镜(2),且所述第一折-反射镜(2)中心位置开设有所述第二折-反射镜(3)折返光线能够通过的通孔;
所述第一透镜(1)位于所述滤光片(4)侧设置有第二折-反射镜(3);
所述第一折-反射镜(2)两个表面的曲率半径分别为-310mm、-245mm,厚度为7mm;
所述第二折-反射镜(3)两个表面的曲率半径分别为-187.7mm、-152.76mm,厚度为4.5mm;
其中,光线透过所述第一透镜(1)后90mm距离处,经过内反射的所述第一折-反射镜(2)折返至所述第二折-反射镜(3);
所述光学系统是适用于光谱范围为210-400nm的宽谱段紫外成像仪光学系统。
2.根据权利要求1所述的基于一种材料的宽谱段紫外成像仪光学系统,其特征在于;
所述滤光片(4)为平板滤光片。
3.根据权利要求1所述的基于一种材料的宽谱段紫外成像仪光学系统,其特征在于;
所述第一透镜(1)为弯月型透镜。
4.根据权利要求1-3任一项所述的基于一种材料的宽谱段紫外成像仪光学系统,其特征在于;
所述第一透镜(1)、所述第二透镜(5)以及所述折-反射镜组的镜片材料均为熔融石英。
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