[发明专利]高能脉冲电弧蒸发源

权利要求书

1.高能脉冲电弧蒸发源，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的前部活动铰接有门体(11)，所述箱体(1)与闭合状态的门体(11)构成六棱柱结构，且所述箱体(1)的内侧壁和门体(11)的背面安装有若干电弧离子镀装置(2)，所述箱体(1)的内底壁安装有转盘(4)；

所述转盘(4)包括外盘(41)和放置盘(42)，所述外盘(41)呈圆盘状并活动套接在箱体(1)的顶部，所述外盘(41)的上表面开设有圆形凹槽(411)，所述圆形凹槽(411)的内底壁中心处转动连接有主动齿轮(421)，所述主动齿轮(421)的底面固定连接有贯穿外盘(41)底壁的转动管(426)，所述圆形凹槽(411)的内周侧面固定连接有齿圈(422)，所述主动齿轮(421)与齿圈(422)之间设置有若干呈环形阵列分布的从动齿轮(423)，若干所述从动齿轮(423)分别与主动齿轮(421)和齿圈(422)啮合，所述放置盘(42)固定安装在从动齿轮(423)的顶部；

所述箱体(1)的内底壁中心处固嵌有固定管(12)，所述转动管(426)活动套接在固定管(12)内部，所述固定管(12)的内周侧面上开设有弧形槽(121)，所述转动管(426)的外周侧面且靠近转动管(426)的底部固定连接有滑块(4261)，所述滑块(4261)滑动连接在弧形槽(121)内部，所述转动管(426)的底面中心处开设有矩形槽，所述箱体(1)的底面栓接有的电机(5)，且所述电机(5)的顶部输出端固定连接有转轴(51)，所述转轴(51)活动套接在矩形槽内。

2.根据权利要求1所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述箱体(1)的内侧壁和门体(11)的背面还安装有若干加热块(3)，所述加热块(3)与电弧离子镀装置(2)电性连接。

3.根据权利要求2所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，若干所述加热块(3)之间电性连接，若干所述电弧离子镀装置(2)之间电性配合并且相互独立工作。

4.根据权利要求2所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述电弧离子镀装置(2)包括靶座(21)和引弧针(22)，若干所述靶座(21)和引弧针(22)均固嵌在箱体(1)的内侧壁和门体(11)的背面，所述引弧针(22)位于靶座(21)的顶部，所述靶座(21)的中心处固定安装有靶材(211)。

5.根据权利要求1所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述外盘(41)的顶部栓接有隔离架(6)，所述隔离架(6)与箱体(1)相适配。

6.根据权利要求1所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述放置盘(42)的周侧面设置有封装板(424)，所述放置盘(42)转动连接在封装板(424)的中心处。

7.根据权利要求6所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述弧形槽(121)的顶部固定连接有内盘(425)，所述封装板(424)滑动连接在外盘(41)与内盘(425)所形成的环形槽内。

8.根据权利要求6所述的高能脉冲电弧蒸发源，其特征在于，所述箱体(1)的内底壁且位于固定管(12)的两侧开设有插孔(13)，所述外盘(41)的底面固定安装有两个导向杆(412)，所述导向杆(412)活动套接在插孔(13)内。