[发明专利]应用于硅、氮、磷、硫、卤族元素有机气体在线分析、自动校准、质控及评价的系统

权利要求书

1.一种应用于硅、氮、磷、硫、卤族元素有机气体在线分析、自动校准、质控及评价的系统，其特征在于，包括分析仪、校准仪、质控系统，分析仪具有有机氮磷硫检测器和有机硅卤族检测器两种检测器及相应检测器评价系统，通过校准仪和分析仪的协同，实现全自动化在线分析、自动校准，通过校准仪、分析仪、质控系统协同，实现热脱附系统自动条件优化，通过包括分析仪在内的检测器评价系统和校准仪的协同，自动优化检测器条件；

有机氮磷硫检测器，包括进样加热块，800～1200℃可调催化氧化还原反应区，还原补充气及催化剂固定两通加热块，臭氧氧化还原反应发光区四个主要模块：

(1)催化氧化还原反应区包括色谱柱进口、贫还原气混合三通、石英或陶瓷氧化还原反应室、氧化还原反应室保温、氧化还原反应室外壳、二氧化锰催化剂、石墨密封垫、富还原气混合三通、催化剂连接两通、样气出口、贫还原气入口、氧化气入口、陶瓷加热器、富还原气入口；

(2)臭氧氧化还原发光区包括光电倍增管电路连接座、光电倍增管密闭O型圈、光电倍增管密闭底座、光电倍增管、光电倍增管防炫光图层外壳、光电倍增管防震吸光填充材料、滤光片顶层密封O型圈、密闭反应室外壳、真空泵连接处、臭氧氧化发光反应区、滤光片、滤光片底层密封O型圈、预留掺杂气入口、样气入口、臭氧入口；

有机硅卤族检测器，包括电弧激发源和电场激发源两种激发源的检测器结构：

(1)电弧激发源的有机硅卤族检测器，其结构特征在于：放电穿板电极、顶盖、放电保护绝缘石英、外壳、铂金放电电极、放电区、密封镀金垫片1作为零电势面、密封镀金垫片2作为推斥极、三级石英或陶瓷反应区、推斥极穿板电极、极化极穿板电极、收集极穿板电极、电离源粒子筛选区、粒子极化区、轰击反应区、掺杂气反应区、底座密闭螺栓、底座、反应区支架、色谱柱或掺杂气预热导入、激发气进入口、尾气排空或压力流量控制器、掺杂气导入毛细管、色谱柱接入口；

(2)电场激发源的有机硅卤族检测器，其结构特征在于：激发电场负极穿板电极、检测器顶盖、激发气进气口、检测器中部外壳、石英或陶瓷绝缘腔、镀金密封电极、绝缘腔支架、尾气口、检测器下盖、色谱柱预热连接、掺杂气入口、色谱柱入口、收集极穿板电极、极化极穿板电极、推斥极穿板电极、激发电场高压正极穿板电极、高压绝缘支架、绝缘下密封垫、激发电场高压区、绝缘上密封垫、激发电场负极。

2.根据权利要求1所述的系统，其结构特征在于，质控系统包括：两个大流量稀释气入口、1个平衡腔稀释气入口、4个样气入口、1个加湿气入口、进样和稀释气电控开关阀组、8个质量流量控制器组、超声波加湿气、2L缓冲腔、数字表压压力计0～1.6Bar、高精度数字温度计-20～60℃、高精度数字露点计-60～60℃、75L样品腔、限流排空口、采样和清洁切换电控三通阀、采样和清洁PWM真空泵、质控评价分析仪。

3.根据权利要求2所述的系统，质控系统的工作模式为：软件设定选择开启的样气路数对应电磁阀，设定对应样气流量，软件设定缓冲腔稀释气流量，如需增加样气湿度需设定另外一路稀释气，并开启超声加湿器；缓冲腔通过管路连接样品腔，通过温度、露点、压力监控样品腔状态，以便进行数据修正使用，样品腔中还有2路大流量稀释气可根据需要通入，混合后多余的样气由排空口排出腔体，当需要样品进样时，通过电磁三通阀切换采样PWM真空泵至连接分析仪位置，开启采样泵可抽取样品腔内的样品；如需要进行腔体快速清洁，可手动关闭样品腔出口，通过电磁三通阀直接连接泵与样品腔进行抽真空清洁。

4.根据权利要求1所述的系统，其结构特征在于：有机氮磷硫的评价系统包括有机氮磷硫检测器、氧化发光反应检测器、臭氧发生器、质量流量控制器载气输入、分流压力流量控制器、压力型还原气流量控制器、压力型氧化气流量控制器、压力型臭氧发生器氧气供气控制器、样气及校准气接入、负压采样泵、两位六通进样阀、定量环或热脱附管、分流不分流进样口、高低温色谱箱、还原气1限流、还原气2限流、氧化发光反应室真空泵。