[发明专利]芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统在审
| 申请号： | 202110299289.1 | 申请日： | 2021-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN113066728A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王锦敏;孙一军;周毅锋;李超 | 申请（专利权）人： | 新恒通（江苏）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/48 | 分类号： | H01L21/48;H01L21/67;B26F3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 毛边 蚀刻 腐蚀 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统，其特征在于：在腐蚀液输送的圆形管道的后端连接转接头的一个侧面，转接头的另一个侧面是矩形面，矩形面上具有两排平行设置的多个细小的出液孔，每个出液孔上连接有喷头，喷头为管径由粗变细的锥形喷头；
两排出液孔的间距为去除毛刺后的芯片宽度；
圆形管道的前端管路上连接有增压泵，管路上设置压力计，压力计的压力信号传送给控制器，控制器连接控制增压泵的加压状态。
2.如权利要求1所述的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统，其特征在于：转接头的内腔截面面积大于圆形管路截面面积，多只锥形喷头的管径截面积之和小于圆形管路截面面积。
3.如权利要求1或2所述的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液喷射装置，其特征在于：喷头轴向截面的外侧边与转接头的侧面成锐角，轴向截面的内侧边垂直于转接头的矩形平面。
4.如权利要求1或3所述的芯片毛边蚀刻机的腐蚀液腐蚀系统，其特征在于：将芯片的铜质引脚连接低压脉冲电源的阴极，耐腐蚀金属或者石墨制成的锥形喷头连接低压脉冲电源的阳极，通过控制器控制电路通断电，对芯片的铜质毛刺进行电化学腐蚀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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