[发明专利]样品承载结构及方法有效
| 申请号： | 202110301902.9 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN112908815B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 曾卓 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 承载 结构 方法 | ||
1.一种样品承载结构，其特征在于：所述样品承载结构包括：
样品载台，经设置以承载半导体工艺样品；以及
样品支座，经设置以承载所述样品载台，其中:
所述样品载台包括远离所述样品支座的表面以承载所述半导体工艺样品以及邻近所述样品支座的表面，而所述样品载台邻近所述样品支座的所述表面上设置有至少三个突出部；以及
所述样品支座包括承载部、光学感测器以及压力感测器，其中:
所述承载部用以承载所述样品载台的第一部的表面上设置有至少三个定位凹槽以分别容置所述样品载台的所述至少三个突出部，所述光学感测器设置于所述样品支座的第一部的一侧并邻近所述样品载台；以及
所述压力感测器，设置于所述至少三个定位凹槽之至少二个内，以感测所述突出部是否接触所述压力感测器。
2.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述光学感测器用以感测到来自所述样品载台的反射讯号。
3.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述至少三个定位凹槽包括呈现三角形排列与设置的三个定位凹槽。
4.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述压力感测器为厚度少于等于0.25毫米且具有介于0-200公克量程的软性超薄压力传感器。
5.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述至少三个突出部为具有如半球状外形的绝缘物。
6.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述样品支座还包括固定构件，设置于邻近所述承载部用以承载所述样品载台的第一部的第二部上，所述固定构件可沿着所述承载部的纵长方向移动以固定或释放所述样品载台。
7.根据权利要求1所述的样品承载结构，其特征在于：所述至少三个定位凹槽之一并未实体接触所述突出部。
8.一种样品承载方法，其特征在于：所述样品承载方法包括：
提供如权利要求1的样品承载机构；以及
透过所述光学感测器及所述压力感测器感测与判断所述样品载台是否设置于所述样品支座上。
9.根据权利要求8所述的样品承载方法，其特征在于：所述光学感测器用以感测到来自所述样品载台的反射讯号。
10.根据权利要求8所述的样品承载方法，其特征在于：所述压力感测器为厚度少于等于0.25毫米且具有介于0-200公克量程的软性超薄压力传感器。
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