[发明专利]晶圆区域性问题的分析系统及方法

权利要求书

1.一种晶圆区域性问题的分析系统，其特征在于，包括：

失效抓取模块，抓取每个测试点的失效情况；

失效模型模块，具有设定的失效模型；

失效模型匹配模块，根据所抓取的每个测试点的失效情况，与所述失效模型进行匹配，当获得匹配时，输出对应的多个测试点的位置和失效代码；

待处理模块，根据所述多个测试点的位置，获得在所述多个测试点周围区域测试通过的点的位置，列为有风险的测试点。

2.如权利要求1所述的晶圆区域性问题的分析系统，其特征在于，所述失效模型包括：X轴连续、Y轴连续、四邻域和八邻域。

3.一种晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，包括：

抓取每个测试点的失效情况；

根据所抓取的每个测试点的失效情况，与失效模型进行匹配，当获得匹配时，输出失效类别、对应的多个测试点的位置和失效代码；

根据所述多个测试点的位置，获得在所述多个测试点周围区域测试通过的点的位置，列为有风险的测试点。

4.如权利要求3所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，所述失效模型包括X轴连续。

5.如权利要求4所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，设测试点A（x，y）、B（x+1，y）、……、M（x+m，y），4≤m≤9，若测试点A至测试点M皆为测试失效的点，则与X轴连续获得匹配，输出失效类别为X轴失效，测试点的位置为A（x，y）、B（x+1，y）、……、M（x+m，y）。

6.如权利要求3所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，所述失效模型包括Y轴连续。

7.如权利要求6所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，设测试点A（x，y）、B（x，y+1）、……、M（x，y+m），4≤m≤9，若测试点A至测试点M皆为测试失效的点，则与Y轴连续获得匹配，输出失效类别为Y轴失效，测试点的位置为A（x，y）、B（x，y+1）、……、M（x，y+m）。

8.根据权利要求3所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，所述失效模型包括四邻域。

9.如权利要求8所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，设测试点A（x，y）、B（x+1，y）、C（x-1，y）、D（x，y+1）、E（x，y-1），若测试点A至测试点E皆为测试失效的点，则与四邻域获得匹配，输出失效类别为四邻域失效，测试点的位置为A（x，y）、B（x+1，y）、C（x-1，y）、D（x，y+1）、E（x，y-1）。

10.如权利要求3所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，所述失效模型包括八邻域。

11.如权利要求10所述的晶圆区域性问题的分析方法，其特征在于，设测试点A（x，y），B（x，y+1），C（x，y-1），D（x-1，y），E（x+1，y），F（x-1，y+1），G（x+1，y+1），H（x-1，y-1），I（x+1，y-1），若测试点A至测试点I皆为测试失效的点，则与八邻域获得匹配，输出失效类别为八邻域失效，测试点的位置为A（x，y）， B（x，y+1），C（x，y-1），D（x-1，y），E（x+1，y），F（x-1，y+1），G（x+1，y+1），H（x-1，y-1），I（x+1，y-1）。