[发明专利]PCB显影废液的循环回用系统及循环回用处理方法在审

专利信息
申请号: 202110311918.8 申请日: 2021-03-24
公开(公告)号: CN112979006A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 赵义党;李志华 申请(专利权)人: 珠海恒格微电子装备有限公司
主分类号: C02F9/04 分类号: C02F9/04
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 卢泽明
地址: 519000 广东省珠海市横琴新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: pcb 显影 废液 循环 系统 用处 方法
【权利要求书】:

1.一种PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,包括

前级处理装置(100),包括离心过滤组件,用于分离显影废液中直径大于1μm的固体悬浮物;

后级处理装置(200),包括精细过滤组件,用于过滤显影废液中直径小于1μm的杂质;

高压泵(300),连接所述前级处理装置(100)和所述后级处理装置(200);

浓缩箱(400),连接所述后级处理装置(200),用于接收从所述后级处理装置(200)中排出的含有杂质的浓缩液;

回收箱(500),连接所述后级处理装置(200),用于接收分离过滤后的回用液。

2.根据权利要求1所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,所述后级处理装置(200)安装有冲洗组件,所述冲洗组件可对所述后级处理装置(200)进行冲洗。

3.根据权利要求1或2所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,还包括设于所述回收箱(500)的PH控制系统,所述回收箱(500)连接所述显影槽(700),所述PH控制系统包括PH值控制器、自动补水装置和自动补液装置,所述PH值控制器用于监测并控制所述回收箱(500)内的液体的PH值,所述自动补水装置用于往所述回收箱(500)内补水,所述自动补液装置用于往所述回收箱(500)内添加显影液。

4.根据权利要求1所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,还包括PLC控制系统,所述PLC控制系统用于监测并控制所述前级处理装置(100)、所述后级处理装置(200)以及所述高压泵(300)的运行。

5.根据权利要求1所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,所述前级处理装置(100)和所述显影槽(700)之间设有增压泵(600)。

6.根据权利要求1所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,所述离心过滤组件包括离心布袋过滤器。

7.根据权利要求1所述的PCB显影废液的循环回用系统,其特征在于,所述精细过滤组件包括微滤膜。

8.一种PCB显影废液的循环回用处理方法,其特征在于,采用如权利要求1至7任一项所述的PCB显影废液的循环回用系统,包括如下步骤:

步骤一、使显影废液经过前级处理装置(100),采用离心过滤组件将显影废液中直径大于1μm的固体悬浮物分离;

步骤二、使用高压泵(300)对前级处理装置(100)内排出的显影废液进行增压并将显影废液输送至后级处理装置(200)内;

步骤三、使显影废液经过后级处理装置(200),采用精细过滤组件将显影废液中直径小于1μm的杂质过滤除去;

步骤四、将含有杂质的浓缩液排放至浓缩箱(400)内,并将分离过滤后的回用液排放至回收箱(500)内。

9.根据权利要求8所述的PCB显影废液的循环回用处理方法,其特征在于,所述后级处理装置(200)安装有冲洗组件,所述步骤四中,所述冲洗组件每隔四小时对所述后级处理装置(200)冲洗一次,且每次冲洗的时间为10min-20min。

10.根据权利要求8所述的PCB显影废液的循环回用处理方法,其特征在于,还包括如下步骤:

步骤五、将回收箱(500)连接显影槽(700),在回收箱(500)内设置PH控制系统,PH控制系统包括PH值控制器、自动补水装置和自动补液装置,给PH值控制器设置设定值,由PH值控制器监测所述回收箱(500)内的液体的PH值,并控制所述自动补水装置或所述自动补液装置往所述回收箱(500)内补水或添加显影液,同时搅拌所述回收箱(500)内的液体,当所述PH值控制器监测到的PH值达到设定值附近时,停止补水或添加显影液,并将所述回收箱(500)内的液体回放至所述显影槽(700)内。

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