[发明专利]一种蚀刻清洗装置

权利要求书

1.一种蚀刻清洗装置，其特征在于：包括机架和蚀刻机构；

所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；

所述蚀刻机构包括箱体、驱动机构、托架、支架以及呈平行布置的主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊，箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接，第一支撑辊和第二支撑辊位于主动辊的两侧；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动；

所述托架的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板和第二翻折板，箱体上设有带滑轨气缸，带滑轨气缸的直线移动端与第二翻折板连接，第一翻折板与箱体沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合。

2.根据权利要求1所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：

所述托架滑动配合在箱体内，托架在箱体上的滑动方向与主动辊的轴向平行。

3.根据权利要求2所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：还包括滤板；

所述驱动机构包括动力机构、转动轴、第一轴承座、第二轴承座、主动齿轮和从动齿轮，滤板安装在箱体内，滤板位于托架的下方，第一轴承座和第二轴承座均安装在滤板上，转动轴的两端分别与第一轴承座和第二轴承座转动连接，转动轴的轴向与托架的滑动方向一致；转动轴的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状，主动齿轮设有与转动轴配合的异型孔，转动轴与主动齿轮的异型孔呈轴向活动配合；托架的靠转动轴侧设有用于对主动齿轮限位的第一拨板和第二拨板，主动齿轮位于第一拨板和第二拨板之间；主动辊的一端凸出支架与从动齿轮连接，主动齿轮和从动齿轮啮合；动力机构安装在箱体内，动力机构与转动轴连接，动力机构用于驱动转动轴转动。

4.根据权利要求3所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：

所述动力机构包括动力电机、主动链轮、链条和从动链轮，动力电机安装在箱体外，动力电机的转轴穿过箱体的壁厚与主动链轮连接，从动链轮与转动轴凸出第一轴承座的一端连接，主动链轮通过链条与从动链轮传动连接。

5.根据权利要求3所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：

所述托架的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板和第二翻折板，箱体上设有带滑轨气缸，带滑轨气缸的直线移动端与第二翻折板连接，第一翻折板与箱体沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合，带滑轨气缸的直线移动方向与转动轴的轴向一致。

6.根据权利要求5所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：

所述第一翻折板的远托架一端设有第一下翻折板，第一下翻折板的靠箱体侧设有滑块，滑块沿带滑轨气缸的直线移动方向设有贯穿的滑槽，箱体上对应滑块处设有滑轨，滑轨的长度方向与带滑轨气缸的直线移动方向一致，滑块的滑槽与滑轨滑动配合；第二翻折板的远托架一端设有第二下翻折板，带滑轨气缸布置在箱体与第二下翻折板之间。

7.根据权利要求1所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：

所述支架包括两张支撑板、两根连接杆和两个条形支撑板，每根连接杆的两端分别与两张支撑板连接，每个条形支撑板的两端分别与两张支撑板连接，两张支撑板呈平行布置；主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两根连接杆之间，主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两张支撑板之间；支撑板上设有连接孔、第一条形孔和第二条形孔，第一条形孔和第二条形孔呈倒八字布置，连接孔位于第一条形孔和第二条形孔之间的下方；主动辊的两端分别与两张支撑板的连接孔转动连接，第一支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第一支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第一条形孔内；第二支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第二支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第二条形孔内；托架的底部设有环形沉槽，两张支撑板的下端与两个条形支撑板均活动配合在环形沉槽内。