[发明专利]一种蚀刻清洗装置

说明书

本发明公开一种蚀刻清洗装置，包括机架和蚀刻机构；所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。本发明有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率，同时提高了电极工件的中心小孔和边缘小孔蚀刻的均匀性。

技术领域

本发明涉及电极蚀刻技术领域，具体涉及一种蚀刻清洗装置。

背景技术

电极是电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端；输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极。在一些电极的制作工艺流程中，蚀刻制程是不可或缺的。蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，目前常用的是湿蚀刻。然而，现有的湿蚀刻方法的蚀刻速率慢，降低了生产效率。

发明内容

针对上述问题，本发明提出一种蚀刻清洗装置，有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率。

本发明提供了一种蚀刻清洗装置，包括机架和蚀刻机构；所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；所述蚀刻机构包括箱体、驱动机构、托架、支架以及呈平行布置的主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊，箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接，第一支撑辊和第二支撑辊位于主动辊的两侧；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。

优选地，所述托架滑动配合在箱体内，托架在箱体上的滑动方向与主动辊的轴向平行。

优选地，蚀刻清洗装置还包括滤板；所述驱动机构包括动力机构、转动轴、第一轴承座、第二轴承座、主动齿轮和从动齿轮，滤板安装在箱体内，滤板位于托架的下方，第一轴承座和第二轴承座均安装在滤板上，转动轴的两端分别与第一轴承座和第二轴承座转动连接，转动轴的轴向与托架的滑动方向一致；转动轴的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状，主动齿轮设有与转动轴配合的异型孔，转动轴与主动齿轮的异型孔呈轴向活动配合；托架的靠转动轴侧设有用于对主动齿轮限位的第一拨板和第二拨板，主动齿轮位于第一拨板和第二拨板之间；主动辊的一端凸出支架与从动齿轮连接，主动齿轮和从动齿轮啮合；动力机构安装在箱体内，动力机构与转动轴连接，动力机构用于驱动转动轴转动。

优选地，所述动力机构包括动力电机、主动链轮、链条和从动链轮，动力电机安装在箱体外，动力电机的转轴穿过箱体的壁厚与主动链轮连接，从动链轮与转动轴凸出第一轴承座的一端连接，主动链轮通过链条与从动链轮传动连接。

优选地，所述托架的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板和第二翻折板，箱体上设有带滑轨气缸，带滑轨气缸的直线移动端与第二翻折板连接，第一翻折板与箱体沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合，带滑轨气缸的直线移动方向与转动轴的轴向一致。

优选地，所述第一翻折板的远托架一端设有第一下翻折板，第一下翻折板的靠箱体侧设有滑块，滑块沿带滑轨气缸的直线移动方向设有贯穿的滑槽，箱体上对应滑块处设有滑轨，滑轨的长度方向与带滑轨气缸的直线移动方向一致，滑块的滑槽与滑轨滑动配合；第二翻折板的远托架一端设有第二下翻折板，带滑轨气缸布置在箱体与第二下翻折板之间。