[发明专利]预制棒的制造工艺

权利要求书

1.一种预制棒的制造工艺，利用MCVD设备将套管与芯棒融合，其特征在于，包括以下步骤：

1）在抽真空管上加工出抽气孔，所述抽真空管包括依次连接的大径部、锥状部以及小径部，所述抽气孔位于所述锥状部上；

2）将辅助棒的一端内套在所述小径部，加热熔融，使辅助棒的一端与所述小径部固定；

3）将辅助管外套在抽真空管上，所述辅助管包括筒状部以及扩口部，所述扩口部与抽真空管的锥状部相配合，所述抽气孔位于筒状部内侧，加热熔融，使扩口部与抽真空管的锥状部固定；所述辅助棒远离抽真空管的一端位于所述辅助管的外侧，且所述辅助棒远离抽真空管的一端距所述辅助管端部1~3cm；

4）加热所述筒状部远离所述扩口部的一端，对其进行扩口；

5）将芯棒与辅助棒加热熔接在一起；

6）将套管外套在芯棒上，使套管靠近辅助管，加热熔融，使扩口后的筒状部与套管端部熔接在一起；

7）对抽真空管进行抽气，喷灯由远离抽真空管的一端向抽真空管一侧移动，将套管与芯棒加热融合在一起。

2.如权利要求1所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述抽气孔至少有3个，绕抽真空管的轴线均匀分布。

3.如权利要求1所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述套管包括熔接在一起的沉积部以及首管部，所述首管部用于供夹具夹持，所述沉积部用于与芯棒融合在一起形成预制棒。

4.如权利要求3所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，步骤7）中，喷灯的氢气控制在100-170L/min，喷灯的移动速度控制在5-30mm/min，喷灯将沉积部表面温度加热到1900-2200℃，套管内的压力控制在-1.5torr至-0 .1torr。

5.如权利要求1所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述步骤4）通过扩口组件进行操作，所述扩口组件包括：

移动座，能够左右往复移动；

连接杆，连接杆的第一端与所述移动座固定；

扩口块，固定在所述连接杆的第二端，所述扩口块具有弧形扩口面。

6.如权利要求5所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述连接杆的第一端可拆卸安装在移动座上；所述连接杆为可调长度的连接杆。

7.如权利要求5所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述扩口组件还包括与辅助管轴线平行的导轨，所述移动座滑动设置在导轨上；所述移动座与喷灯错位设置。

8.如权利要求7所述的预制棒的制造工艺，其特征在于，所述扩口组件还包括用于驱动所述移动座往复移动的驱动元件。