[发明专利]蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置

权利要求书

1.一种蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据待蚀刻产品的待蚀刻涂层的厚度及蚀刻面积，计算待蚀刻部分的量；

根据所述待蚀刻部分的量，计算酸的使用量；

根据所述酸的使用量、待蚀刻产品的传送速度及待蚀刻产品在蚀刻槽中的停留时间，计算单位时间内酸的补给量。

2.如权利要求1所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述根据所述酸的使用量及所述待蚀刻产品的传送速度，计算预设时间内酸的补给量的步骤之后，还包括：

在经过第一预设时间后，根据所述单位时间内酸的补给量计算第一预设时间内酸的补给量；

向蚀刻槽中按照第一预设时间内酸的补给量补酸；

在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度；

计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值；

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为正，则减小单位时间内酸的补给量。

3.如权利要求2所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述第一预设时间为20s～10min。

4.如权利要求2所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述第二预设时间为30min～120min。

5.如权利要求2所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为负，则增大单位时间内酸的补给量。

6.如权利要求2所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为正，且大于第一预设值，则发出报警信号。

7.如权利要求2所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为负，且小于第二预设值，则发出报警信号。

8.如权利要求1所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，其特征在于，所述酸包括磷酸、醋酸、硝酸中的一种。

9.一种蚀刻工艺中的补酸量的确定装置，其特征在于，所述蚀刻工艺中的补酸量的确定装置包括控制装置，所述控制装置包括存储器、处理器及存储在所述存储器上的程序，所述程序可在所述处理器上运行蚀刻工艺中的补酸量的确定，所述程序配置为实现如权利要求1所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法的步骤。

10.如权利要求9所述的蚀刻工艺中的补酸量的确定装置，其特征在于，所述蚀刻工艺中的补酸量的确定装置还包括：

浓度分析仪，与所述控制装置电连接，用于检测蚀刻槽中酸的浓度并发送给所述控制装置；以及，

补酸装置，与所述控制装置电连接，用于向蚀刻槽中按照第一预设时间内酸的补给量补酸，若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为正，则减小单位时间内酸的补给量。