[发明专利]蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置

说明书

本发明公开一种蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置，涉及蚀刻技术领域，所述蚀刻工艺中的补酸量的确定方法包括以下步骤：根据待蚀刻产品的待蚀刻涂层的厚度及蚀刻面积，计算待蚀刻部分的量；根据所述待蚀刻部分的量，计算酸的使用量；根据所述酸的使用量、待蚀刻产品的传送速度及待蚀刻产品在蚀刻槽中的停留时间，计算单位时间内酸的补给量。本发明提出的蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，通过计算得到单位时间内酸的补给量，不依赖酸浓度分析仪，补酸量的确定更加准确，异常发生率低、稳定性高。

技术领域

本发明涉及蚀刻技术领域，特别涉及一种蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置。

背景技术

在蚀刻工艺中，常采用酸作为蚀刻液。在生产工艺中，需要酸中的各种单酸浓度都保持稳定，不能有较大的波动，由此才能保证产品的高品质。目前的做法为使用酸浓度分析仪器来对酸蚀刻液进行实时量测，然后根据测量值对应的进行单酸补给。此方法太过于依赖铝酸浓度分析仪的测量，一旦设备量测异常，即会导致铝酸浓度发生异常，进一步导致产品不良的发生。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种铝蚀刻工艺中的补酸量的确定方法及装置，旨在提供一种异常发生率低、稳定性高的铝蚀刻工艺中的补酸量的确定方法。

为实现上述目的，本发明提出一种蚀刻工艺中的补酸量的确定方法，包括以下步骤：

根据待蚀刻产品的待蚀刻涂层的厚度及蚀刻面积，计算待蚀刻部分的量；

根据所述待蚀刻部分的量，计算酸的使用量；

根据所述酸的使用量、待蚀刻产品的传送速度及待蚀刻产品在蚀刻槽中的停留时间，计算单位时间内酸的补给量。

可选地，所述根据所述酸的使用量及所述待蚀刻产品的传送速度，计算预设时间内酸的补给量的步骤之后，还包括：

在经过第一预设时间后，根据所述单位时间内酸的补给量计算第一预设时间内酸的补给量；

向蚀刻槽中按照第一预设时间内酸的补给量补酸；

在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度；

计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值；

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为正，则减小单位时间内酸的补给量。

可选地，所述第一预设时间为20s～10min。

可选地，所述第二预设时间为30min～120min。

可选地，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为负，则增大单位时间内酸的补给量。

可选地，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为正，且大于第一预设值，则发出报警信号。

可选地，所述在经过第二预设时间后，获取所述蚀刻槽中酸的浓度，并计算所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值的步骤之后，还包括：

若所述蚀刻槽中酸的浓度与设定酸浓度的差值为负，且小于第二预设值，则发出报警信号。

可选地，所述酸包括磷酸、醋酸、硝酸中的一种。