[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法

权利要求书

1.一种面板缺陷检测方法，其特征在于，所述方法应用于面板缺陷检测设备，其中，所述面板缺陷检测设备包括承载机构、龙门(5)、初扫组件(6)和复扫组件(7)，所述承载机构用于承载待检测面板(8)并驱动所述待检测面板(8)运动，所述龙门(5)横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)分别设于同一所述龙门(5)上，且所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)适于在所述龙门(5)上移动，所述初扫组件(6)用于扫描所述待检测面板(8)，所述复扫组件(7)用于对所述待检测面板(8)进行复扫；

所述方法包括：

缺陷评价结果获取阶段和待检测面板复检阶段；

所述缺陷评价结果获取阶段包括：

根据待检测面板(8)的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷，根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像，根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分；

从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据所述第二候选缺陷的坐标位置移动复扫组件(7)以采集复扫图像，根据所述复扫图像确定第二缺陷评分，其中，所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分均用于评价缺陷的可靠性；

根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果，以确定所述第一缺陷评分与所述缺陷评价结果是否存在一致性，其中，所述根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果包括：根据所述第一缺陷评分和第一权重确定第一加权结果；根据所述第二缺陷评分和第二权重确定第二加权结果；根据所述第一加权结果和所述第二加权结果确定所述缺陷评价结果；

所述待检测面板复检阶段包括：

获取所述待检测面板(8)的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型；

根据预先获取的缺陷评价结果确定需复检类缺陷，从上述缺陷中挑选需复检类缺陷进行复检。

2.根据权利要求1所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)设于所述龙门(5)的相对两侧面上。

3.根据权利要求1所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述承载机构包括气浮平台(2)，所述气浮平台(2)用于悬浮支撑所述待检测面板(8)。

4.根据权利要求3所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述气浮平台(2)包括第一气浮平台(21)和两个第二气浮平台(22)，所述第一气浮平台(21)设于两个所述第二气浮平台(22)之间，所述第一气浮平台(21)和所述第二气浮平台(22)适于悬浮支撑所述待检测面板(8)，当所述初扫组件(6)和/或所述复扫组件(7)扫描所述待检测面板(8)时，所述待检测面板(8)悬浮于所述第一气浮平台(21)上。

5.根据权利要求4所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述第二气浮平台(22)包括多个气浮条(221)，各所述气浮条(221)平行且间隔设置，所述气浮条(221)用于悬浮支撑所述待检测面板(8)。

6.根据权利要求1至5任一项所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述承载机构包括夹持机构(3)，所述夹持机构(3)用于带动所述待检测面板(8)在所述承载机构上运动。

7.根据权利要求6所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述夹持机构(3)包括精密定位装置(34)，所述精密定位装置(34)适于垂向吸附所述待检测面板(8)，并适于带动所述待检测面板(8)移动。

8.根据权利要求6所述的面板缺陷检测方法，其特征在于，所述承载机构还包括预定位机构(4)，所述预定位机构(4)用于对所述待检测面板(8)进行预定位。