[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法

说明书

本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法，涉及面板缺陷检测技术领域，该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件，所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小，进而可降低待检测板面板的运动行程，从而降低了单个面板检测所用的时间，提高面板缺陷扫描的效率；另外，由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，因此，统一了初扫基准面与复扫基准面，消除了因基准面不一致产生的转换误差，提高了整机精度。

技术领域

本发明涉及面板缺陷检测技术领域，具体而言，涉及一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法。

背景技术

目前，液晶显示面板在制造过程中可能会产生诸多缺陷，这些缺陷大致可分为宏观缺陷与微观缺陷，其中微观缺陷难以用肉眼检测出来。

因此，为了检测面板的微观缺陷，市面上出现了相应的面板缺陷检测设备，现有的面板缺陷检测设备包括初扫相机、复扫相机和两个龙门，初扫相机和复扫相机分别布置在两个具有一定距离的龙门上，初扫相机进行初扫，复扫相机进行复扫，为了使初扫相机和复扫相机都能扫描待检测面板，则需要待检测面板具有较长的来回运动行程，因此，单个面板的检测时间较长，待检测面板的检测效率较低。另外，由于初扫相机和复扫相机分布于不同的龙门上，而两个龙门的高度和平行度可能不同，则初扫相机和复扫相机的基准面可能不一致，则容易出现转换误差，影响图像的采集效果。

发明内容

本发明解决的问题是待检测面板的检测效率较低及初扫相机和复扫相机的基准面不一致带来的转换误差。

为解决上述问题，本发明第一方面提供一种面板缺陷检测设备，包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件，所述承载机构用于承载待检测面板并驱动所述待检测面板运动，所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一所述龙门上，且所述初扫组件和所述复扫组件适于在所述龙门上移动，所述初扫组件用于扫描所述待检测面板，所述复扫组件用于对所述待检测面板进行复检。

通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小，进而可降低待检测板面板的运动行程，从而降低了单个面板检测所用的时间，提高面板缺陷扫描的效率；另外，由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，因此，初扫组件和复扫组件在同一龙门上移动，这里初扫组件移动的基准和复扫组件移动的基准是同一个龙门，则初扫组件和复扫组件基准是统一的，因此统一了初扫基准面与复扫基准面，消除了因基准面不一致产生的转换误差，提高了整机精度，进而提高了最终的图像采集效果。

进一步地，所述初扫组件和所述复扫组件设于所述龙门的相对两侧面上。

进一步地，所述承载机构包括气浮平台，所述气浮平台用于悬浮支撑所述待检测面板。

进一步地，所述气浮平台包括第一气浮平台和两个第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述第一气浮平台和两个所述第二气浮平台适于悬浮支撑所述待检测面板，所述初扫组件和/或所述复扫组件扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上。

所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。

进一步地，所述承载机构包括夹持机构，所述夹持机构用于带动所述待检测面板在所述承载机构上运动。

进一步地，所述夹持机构包括精密定位装置，所述精密定位装置适于垂向吸附所述待检测面板，并适于带动所述待检测面板移动。

进一步地，所述承载机构还包括预定位机构，所述预定位机构用于对所述待检测面板进行预定位。